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公开(公告)号:KR102262756B1
公开(公告)日:2021-06-08
申请号:KR1020200017291
申请日:2020-02-13
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Inventor: 이성주 , 주재혁 , 박진홍 , 신채연 , 백성표
IPC: H01L27/06 , H01L27/02 , H01L27/07 , H01L45/00