公开(公告)号：KR102069239B1

公开(公告)日：2020-02-11

申请号：KR1020190033567

申请日：2019-03-25

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이성주 ,  주재혁 ,  장성규

IPC: H01L45/00

公开(公告)号：KR102262756B1

公开(公告)日：2021-06-08

申请号：KR1020200017291

申请日：2020-02-13

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이성주 ,  주재혁 ,  박진홍 ,  신채연 ,  백성표

IPC: H01L27/06 ,  H01L27/02 ,  H01L27/07 ,  H01L45/00