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公开(公告)号：KR1020170090592A
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：KR1020160011115
申请日：2016-01-29
Applicant: 삼성전자주식회사 , 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/324 , H01L21/205 , H01L21/02 , H01L21/67
CPC classification number: C23C16/0209 , C23C16/4584 , C23C16/4587 , C23C16/46 , C23C16/463 , F28F13/18 , H01L21/67017 , H01L21/67109 , H01L21/67115 , H05B1/0233 , H05B3/46
Abstract: 가열장치는반응튜브를수용하기위한내부공간을제공하는원통형상의측벽단열재, 상기측벽단열재의상부를커버하는상부벽단열재, 상기측벽단열재의내측면상에구비되는발열부, 및상기상부벽단열재의하부면상에구비되며제1 영역에상기상부벽단열재의방사율보다낮는제1 방사율을갖는반사면을구비하는열 보상부를포함한다.
Abstract translation: 加热装置包括圆柱形侧壁绝缘体以提供用于容纳反应管的内部空间，覆盖上侧壁绝缘体的上壁绝缘体，设置在侧壁绝缘体的内表面上的加热部分， 以及具有反射表面的热补偿部分，所述反射表面具有比所述第一区域中的所述上壁绝缘体的辐射率低的第一辐射率。
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公开(公告)号：KR1020170083188A
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：KR1020160002194
申请日：2016-01-07
Applicant: 삼성전자주식회사 , 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/673 , H01L21/677
Abstract: 본발명은제1 플레이트; 상기제1 플레이트의일측에이격배치된제2 플레이트; 상기제1 플레이트와제2 플레이트를연결하는지지로드들; 및상기지지로드들의각각과연결되고, 상기제1 플레이트와상기제2 플레이트사이에배치되는적어도하나의지지판을포함하고, 상기지지판은: 상기일측에웨이퍼가안착되며, 상기웨이퍼보다열 전도도가큰 물질을포함하는지지플레이트; 및상기지지플레이트로부터상기제2 플레이트를향해연장되는측벽을포함하는웨이퍼보트및 이를포함하는반도체제조장치에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种等离子体显示面板，其包括第一板; 与第一板的一侧间隔开的第二板; 连接第一板和第二板的支撑杆; 以及至少一个支撑板，连接到每个支撑杆并且设置在第一板和第二板之间，其中支撑板包括： 包括材料的支撑板; 以及从支撑板朝向第二板延伸的侧壁以及包括该晶舟的半导体制造装置。
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公开(公告)号：KR101512936B1
公开(公告)日：2015-04-17
申请号：KR1020140030516
申请日：2014-03-14
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H05K7/20
Abstract: 본발명은이온풍을통해강제대류를발생시킴으로써방열성능을향상시킬수 있으며, 이온풍을통해팬(fan)을대체할수 있어장치를소형화시킬수 있는이온풍을이용하는히트싱크에관한발명으로서, 방열판, 상기방열판의외면으로부터돌출되되상기방열판의외면상에중심을가지는가상원또는가상의다각형을따라서로이격되게배치되어이격공간을형성하는제1 돌출부를구비하며, 냉각대상물로부터열을전달받는방열부; 상기제1 돌출부내측에수용되되상기방열판으로부터이격되게마련되며, 상기방열부를냉각하도록상기이격공간을통해상기제1 돌출부의내외측을유동하는이온풍을발생시키는이온풍발생부;를포함하는이온풍을이용하는히트싱크가제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用离子风的散热器，其能够通过将离子风替换为风扇并通过产生通过离子风的强制对流来改善散热来减小装置的尺寸。 提供了使用离子风的散热器，其包括散热单元，该散热单元包括散热板和从散热板的外侧突出的第一突出部，并且沿着虚拟多边形或虚拟圆分开布置， 在散热板的外侧的中心形成分离空间并从冷却对象物接收热量，并且接收在第一突出部中的离子风发生单元与散热板分离，并产生 离子风通过分离空间在第一突出部分的内部和外部流动，以冷却热辐射单元。
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