公开(公告)号：KR101405780B1

公开(公告)日：2014-06-17

申请号：KR1020120123649

申请日：2012-11-02

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 문형필 ,  정고연 ,  김정욱 ,  박정열 ,  이상원 ,  윤기석

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  B65G51/03

Abstract: 본 발명은 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치에 관한 것으로서, 상측에 이송 대상인 기판이 배치되며, 다수의 관통공 및 전환공이 형성되는 상부플레이트; 상기 상부플레이트 상에 상기 기판이 부양되도록 상기 상부플레이트의 관통공 내로 에어를 분사하는 고정노즐; 축방향으로의 회전운동 및 길이방향으로의 이동 중 적어도 하나의 움직임을 가지는 회전축; 상기 회전축에 장착되어 상기 회전축과 동일한 움직임을 가지는 제2조인트와 일단은 상기 전환공에 연결되고 타단은 상기 제2조인트와 연결되며 상기 기판의 이송방향을 조절하도록 상기 회전축의 움직임과 연동하여 에어의 분사방향을 변경하는 제1조인트를 구비하는 동적노즐;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 자유로운 방향전환을 통하여 파손 위험 없이 대면적의 기판을 대량으로 이송할 수 있는 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치가 제공된다.

公开(公告)号：KR1020130048711A

公开(公告)日：2013-05-10

申请号：KR1020120123649

申请日：2012-11-02

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 문형필 ,  정고연 ,  김정욱 ,  박정열 ,  이상원 ,  윤기석

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  B65G51/03

CPC classification number: H01L21/67787 ,  B65G49/061 ,  B65G49/065 ,  B65G51/03 ,  B65G2249/045

Abstract: PURPOSE: A transferring direction controllable apparatus for transferring a substrate is provided to control the transfer speed of a substrate by controlling the injection speed of air emitted from a nozzle. CONSTITUTION: A lower plate(120) is separated from an upper plate(110) to a lower part. A penetration hole(111) is formed on the front surface of the upper plate. A fixing nozzle(130) sprays air to the upper side of a substrate. A dynamic nozzle(140) controls the transfer direction of the levitated substrate. A power supply part(160) supplies power to a rotary shaft(150). A control unit(170) controls the injection direction of air emitted from the dynamic nozzle. [Reference numerals] (170) Control unit; (180) Air supply unit

Abstract translation: 目的：提供一种用于转印基板的转印方向可控设备，通过控制从喷嘴发出的空气的喷射速度来控制基板的转印速度。 构成：下板（120）与上板（110）分离成下部。 在上板的前表面上形成贯通孔（111）。 固定喷嘴（130）将空气喷射到基板的上侧。 动态喷嘴（140）控制悬浮底物的传送方向。 电源部分（160）向旋转轴（150）供电。 控制单元（170）控制从动态喷嘴排出的空气的喷射方向。 （附图标记）（170）控制单元; （180）供气单元