公开(公告)号：KR101863084B1

公开(公告)日：2018-05-31

申请号：KR1020180038625

申请日：2018-04-03

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이창구 ,  이진환 ,  정재혁

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/268

Abstract: 레이저를이용한금속칼코게나이드박막의제조방법, 상기방법에의하여제조되는금속칼코게나이드박막, 및상기금속칼코게나이드박막을포함하는소자에관한것이다.

公开(公告)号：KR1020180038430A

公开(公告)日：2018-04-16

申请号：KR1020180038625

申请日：2018-04-03

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이창구 ,  이진환 ,  정재혁

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/268

CPC classification number: H01L21/02568 ,  H01L21/02109 ,  H01L21/02205 ,  H01L21/02485 ,  H01L21/268

Abstract: 레이저를이용한금속칼코게나이드박막의제조방법, 상기방법에의하여제조되는금속칼코게나이드박막, 및상기금속칼코게나이드박막을포함하는소자에관한것이다.

公开(公告)号：KR1020170048713A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：KR1020150149137

申请日：2015-10-27

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이창구 ,  이진환 ,  정재혁

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/268

Abstract: 레이저를이용한금속칼코게나이드박막의제조방법, 상기방법에의하여제조되는금속칼코게나이드박막, 및상기금속칼코게나이드박막을포함하는소자에관한것이다.

Abstract translation: 使用激光，一种包括金属硫族化合物薄膜的器件制造金属硫属化物薄膜的方法，和所述由所述方法制备的金属硫属化物薄膜。