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公开(公告)号：WO2015093699A1
公开(公告)日：2015-06-25
申请号：PCT/KR2014/004941
申请日：2014-06-03
Applicant: 성균관대학교산학협력단 , 주식회사 에프에스티 , 삼성전자 주식회사
Abstract: 본원은 흑연-함유 박막을 포함하는 극자외선 리소그래피용 펠리클 막에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于极紫外光刻的防护薄膜，包括含石墨的薄膜。
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公开(公告)号：KR1020150070727A
公开(公告)日：2015-06-25
申请号：KR1020130157275
申请日：2013-12-17
Applicant: 삼성전자주식회사 , 성균관대학교산학협력단 , 주식회사 에프에스티
Abstract: 본원은흑연-함유박막을포함하는극자외선리소그래피용펠리클막에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及包含含石墨的薄膜的用于极紫外光刻的防护薄膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110055269A
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：KR1020090112221
申请日：2009-11-19
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: B01J19/10 , B01J2/04 , B01J2219/00486
Abstract: PURPOSE: A droplet generating apparatus for an ultrasonic spray type pyrolysis process and a method for operating the same are provided to uniform the size of droplets by including a plurality of vibrators. CONSTITUTION: A droplet generating apparatus for an ultrasonic spray type pyrolysis process includes a droplet generating part, a vibrating part(200), a main vibrating part(210), and an auxiliary vibrating part. An inlet is formed at one side of the droplet generating part, a carrying gas is introduced through the inlet. An outlet is formed at another side of the droplet generating part. The vibrating part applies ultrasonic vibration to the bottom side of liquid contained in the droplet generating part.
Abstract translation: 目的：提供一种用于超声波喷射型热解过程的液滴产生装置及其操作方法，以通过包括多个振动器使液滴尺寸均匀化。 构成：用于超声波喷射型热解法的液滴产生装置包括液滴产生部分，振动部分（200），主振动部分（210）和辅助振动部分。 入口形成在液滴产生部分的一侧，承载气体通过入口引入。 出口形成在液滴产生部分的另一侧。 所述振动部对所述液滴产生部所含的液体的底面施加超声波振动。
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公开(公告)号：KR1020090095286A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：KR1020080020545
申请日：2008-03-05
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L29/786
CPC classification number: H01L51/0537
Abstract: An organic thin film transistor and a manufacturing method thereof for obtaining the advantage of each material characteristic by applying organic compound and inorganic material to the insulating layer are provided to minimize the leakage current and low voltage driving. A gate electrode(120) is formed on a substrate(110). An inorganic insulating layer(130) is formed on the gate electrode. An organic insulating layer(140) is formed on the inorganic insulating layer. An organic semiconductor layer(150) is formed on the organic insulating layer. Source/drain electrodes are formed on the organic semiconductor layer. The inorganic insulating layer is made of the amorphous carbon material quality containing the hydrogen. The inorganic insulating layer is made of the amorphous carbon material quality containing the hydrogen.
Abstract translation: 提供一种有机薄膜晶体管及其制造方法，用于通过将有机化合物和无机材料施加到绝缘层来获得每种材料特性的优点，以使漏电流和低电压驱动最小化。 在基板（110）上形成栅电极（120）。 在栅电极上形成无机绝缘层（130）。 在无机绝缘层上形成有机绝缘层（140）。 在有机绝缘层上形成有机半导体层（150）。 源极/漏极形成在有机半导体层上。 无机绝缘层由含有氢的无定形碳材料质量制成。 无机绝缘层由含有氢的无定形碳材料质量制成。
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公开(公告)号：KR101141980B1
公开(公告)日：2012-05-07
申请号：KR1020090112221
申请日：2009-11-19
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 초음파 진동자를 이용하여 고른 크기의 액적을 가열로로 보낼 수 있는 초음파 열분해용 액적발생장치의 작동방법에 관한 것이다.
본 발명은, 일면에는 운반가스가 유입되는 유입구가 형성되고, 타면에는 상기 운반가스와 액적을 가열로로 내보내는 유출구가 형성되는 액적발생부; 및 상기 액적발생부 내부에 위치하는 액체의 밑면에 추음파진동을 가하는 진동부를 포함하며, 상기 진동부는, 폭방향 중심에 위치하고, 길이방향으로 하나 이상 배치되는 진동판으로 이루어지는 주진동부; 및 폭방향으로 상기 주진동부의 양옆에 위치하고, 길이방향으로 하나 이상 배치되는 진동판으로 이루어지는 보조진동부를 포함하고, 상기 주진동부와 상기 보조진동부의 진동수 및 진동에너지를 별도로 조절할 수 있으며, 상기 액적발생부의 유입구와 유출구가 형성된 일면과 타면은 수평방향으로 마주보도록 형성되는 액적발생장치를 작동하는 방법으로서, 상기 주진동부의 진동이 상기 보조진동부의 진동보다 작게 조절하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 고른 크기의 액적을 발생시켜 분무 열분해법에 이용할 수 있으며, 최종적으로 제조된 분말의 입도분포가 매우 향상되는 효과가 있다.
분무 열분해, 초음파 분무 열분해, 액적발생장치, 초음파 액적발생장치-
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公开(公告)号：KR100976113B1
公开(公告)日：2010-08-16
申请号：KR1020080020545
申请日：2008-03-05
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L29/786
Abstract: 본 발명은 유기박막 트랜지스터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 절연층에 유기물 및 무기물을 복합적으로 적용함으로써 각 재질특성의 장점을 얻을 수 있는 유기박막 트랜지스터 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기박막 트랜지스터는, 기판; 상기 기판 위에 형성된 게이트 전극; 상기 게이트 전극 위에 형성된 무기 절연층; 상기 무기 절연층 위에 형성된 유기 절연층; 상기 유기 절연층 위에 형성된 유기 반도체층; 및 상기 유기 절연층 위에 형성된 소스/드레인 전극을 포함한다.
유기박막, 트랜지스터, 절연, 게이트, 소스, 드레인
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