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公开(公告)号：KR100976113B1
公开(公告)日：2010-08-16
申请号：KR1020080020545
申请日：2008-03-05
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L29/786
Abstract: 본 발명은 유기박막 트랜지스터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 절연층에 유기물 및 무기물을 복합적으로 적용함으로써 각 재질특성의 장점을 얻을 수 있는 유기박막 트랜지스터 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기박막 트랜지스터는, 기판; 상기 기판 위에 형성된 게이트 전극; 상기 게이트 전극 위에 형성된 무기 절연층; 상기 무기 절연층 위에 형성된 유기 절연층; 상기 유기 절연층 위에 형성된 유기 반도체층; 및 상기 유기 절연층 위에 형성된 소스/드레인 전극을 포함한다.
유기박막, 트랜지스터, 절연, 게이트, 소스, 드레인-
2.发明授权
公开(公告)号：KR101104424B1
公开(公告)日：2012-01-12
申请号：KR1020090104232
申请日：2009-10-30
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/306 , H01L51/56 , H01L21/3065
Abstract: 상기 목적을 달성하기 위하여, 하나의 양태로서 본 발명은, (a) 유기 용매를 상기 포토레지스트에 도포하여 상기 포토레지스트를 1차 제거하는 단계; 및 (b) 화학적 건식 포토레지스트 제거기(CDPR, chemical dry photoresist remover)를 사용하여 상기 포토레지스트를 식각하여 2차 제거하는 단계를 포함하는 산화 아연 박막 상에 도포된 포토레지스트를 제거하는 방법을 제공한다.
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公开(公告)号：KR1020090095286A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：KR1020080020545
申请日：2008-03-05
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L29/786
CPC classification number: H01L51/0537
Abstract: An organic thin film transistor and a manufacturing method thereof for obtaining the advantage of each material characteristic by applying organic compound and inorganic material to the insulating layer are provided to minimize the leakage current and low voltage driving. A gate electrode(120) is formed on a substrate(110). An inorganic insulating layer(130) is formed on the gate electrode. An organic insulating layer(140) is formed on the inorganic insulating layer. An organic semiconductor layer(150) is formed on the organic insulating layer. Source/drain electrodes are formed on the organic semiconductor layer. The inorganic insulating layer is made of the amorphous carbon material quality containing the hydrogen. The inorganic insulating layer is made of the amorphous carbon material quality containing the hydrogen.
Abstract translation: 提供一种有机薄膜晶体管及其制造方法，用于通过将有机化合物和无机材料施加到绝缘层来获得每种材料特性的优点，以使漏电流和低电压驱动最小化。 在基板（110）上形成栅电极（120）。 在栅电极上形成无机绝缘层（130）。 在无机绝缘层上形成有机绝缘层（140）。 在有机绝缘层上形成有机半导体层（150）。 源极/漏极形成在有机半导体层上。 无机绝缘层由含有氢的无定形碳材料质量制成。 无机绝缘层由含有氢的无定形碳材料质量制成。
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公开(公告)号：KR101853282B1
公开(公告)日：2018-04-30
申请号：KR1020160094018
申请日：2016-07-25
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/02 , H01L21/324
Abstract: 본발명은전기변색소자용텅스텐삼산화물박막및 이의제조방법에관한것으로, 보다상세하게는나노홈이규칙적으로배열되어벌집구조가형성된텅스텐삼산화물박막을제조하고, 이를이용하여빠른응답속도와향상된내구성을갖는전기변색소자를제공하고자하는것이다. 본발명의여러구현예에따르면, 나노홈이규칙적으로배열되어벌집구조를갖는텅스텐삼산화물박막을제조할수 있다. 또한, 상기텅스텐삼산화물박막은전기변색소자에적용시켰을때 변색속도및 내구성을향상시키는데현저한효과를나타내어, 기능성창호, 디스플레이등의다양한분야에폭넓게응용이가능하다.
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公开(公告)号：KR101040903B1
公开(公告)日：2011-06-16
申请号：KR1020090056667
申请日：2009-06-24
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 금 나노입자가 코팅된 백금촉매 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판(substrate) 상에 백금(Pt)이 증착되어 있고, 상기 백금(Pt) 증착물 상에 금(Au) 나노입자가 증착되어 있어 백금과 금의 양을 조절하여 환경오염물질 (CO)을 효과적으로 제거하고 백금의 사용량을 줄일 수 있는 자동차 배기가스 정화용 백금 촉매 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
백금 촉매, 배기가스 정화용 촉매, 삼원촉매, 금 나노입자, 일산화탄소 제거-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100693080B1
公开(公告)日：2007-03-12
申请号：KR1020050040866
申请日：2005-05-16
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H05B33/10
Abstract: 본 발명은 디스플레이 등의 TCO(transparent conductive electrode) 소재로 이용 가능한 ZnO 박막 또는 금속이 도핑된 ZnO 박막의 식각 처리를 유도 결합 플라즈마 방법으로 처리할 수 있는 유도 결합형 플라즈마를 이용한 산화아연박막의 식각 방법에 관한 것이다.
본 발명은 일면에 ZnO 박막 또는 금속이 도핑된 ZnO 박막이 증착되고, 상기 ZnO 박막 위에 패턴 형성을 위한 포토레지스트가 형성된 기판을 준비하는 단계; 상기 기판을 미리 설정된 압력이 유지되는 챔버의 일 측에 장착하는 단계; 및 상기 기판에 대향하는 위치에 설치된 유도 코일에 제 1RF 파워를 인가하고, 상기 기판에 제 2RF 파워를 인가하여, 상기 챔버에 플라즈마 형성을 위한 가스를 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유도 결합형 플라즈마를 이용한 산화아연박막의 식각 방법을 제공한다.
유도 결합형 플라즈마, ZnO, 박막, 식각-
公开(公告)号：KR1020180011548A
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：KR1020160094018
申请日：2016-07-25
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/02 , H01L21/324
CPC classification number: H01L21/02172 , H01L21/02282 , H01L21/02554 , H01L21/02606 , H01L21/324 , H01L2924/01074
Abstract: 본발명은전기변색소자용텅스텐삼산화물박막및 이의제조방법에관한것으로, 보다상세하게는나노홈이규칙적으로배열되어벌집구조가형성된텅스텐삼산화물박막을제조하고, 이를이용하여빠른응답속도와향상된내구성을갖는전기변색소자를제공하고자하는것이다. 본발명의여러구현예에따르면, 나노홈이규칙적으로배열되어벌집구조를갖는텅스텐삼산화물박막을제조할수 있다. 또한, 상기텅스텐삼산화물박막은전기변색소자에적용시켰을때 변색속도및 내구성을향상시키는데현저한효과를나타내어, 기능성창호, 디스플레이등의다양한분야에폭넓게응용이가능하다.
Abstract translation: 本发明中，更特别地，纳米槽规则地排列，并产生三氧化钨的膜为蜂窝结构形成，短的响应时间，提高通过使用这一点，根据三氧化钨膜的方法和它们的制备的电致变色装置 并提供具有耐久性的电致变色装置。 根据本发明的各种实施方式，通过规则排列纳米槽可以制造具有蜂窝结构的三氧化钨薄膜。 此外，三氧化钨的膜，可广泛应用于各种领域，如示出的显着的效果，功能窗口，显示改善衰落速率和耐久性当施加到电致变色器件sikyeoteul。
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公开(公告)号：KR101154379B1
公开(公告)日：2012-06-15
申请号：KR1020090118480
申请日：2009-12-02
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: B82B3/00 , B82B1/00 , C01G23/047
Abstract: 본 발명은 산소 플라즈마를 이용하여 초친수성 표면개질된 산화티타늄 나노구조물 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 초친수성 표면개질된 산화티타늄 나노구조물은 광조사 과정없이 산소 플라즈마 처리를 통하여 산화티타늄 나노구조물의 표면이 장시간 동안 초친수성을 유지할 수 있게 제조됨으로써 방오성, 세정 용이성, 자가 세정성, 김서림 방지기능, 자외선 차단기능 등이 향상되어 자동차, 건축물의 유리, 안경, 거울 등의 초친수성 코팅에 활용될 수 있다.
산화티타늄 나노구조물, 산소 플라즈마, 초친수성, 자외선 차단-
公开(公告)号：KR1020110061932A
公开(公告)日：2011-06-10
申请号：KR1020090118480
申请日：2009-12-02
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: B82B3/00 , B82B1/00 , C01G23/047
CPC classification number: C23C16/40 , B01J19/088 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01G23/04 , C01P2004/64 , C23C16/56
Abstract: PURPOSE: An ultrahydrophilic surface modified titanium oxide nanostructure and a producing method thereof are provided to secure the ultrahydrophilicity on the surface of a titanium oxide nanostructure for a long time. CONSTITUTION: A producing method of an ultrahydrophilic surface modified titanium oxide nanostructure comprises the following steps: vaporizing a titanium oxide nanostructure with carbon doped on a substrate, using a metal organic chemical vapor deposition method; and oxygen plasma-processing the surface of the titanium oxide nanostructure for modifying the surface into the ultrahydrophilicity.
Abstract translation: 目的：提供一种超亲水性表面改性氧化钛纳米结构及其制备方法，以确保氧化钛纳米结构表面上的超亲水性长时间。 构成：超亲水性表面改性氧化钛纳米结构体的制造方法包括以下步骤：使用金属有机化学气相沉积法将掺杂有碳的氧化钛纳米结构体蒸发; 氧等离子体处理氧化钛纳米结构的表面，将表面改性为超亲水性。
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公开(公告)号：KR1020110055269A
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：KR1020090112221
申请日：2009-11-19
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: B01J19/10 , B01J2/04 , B01J2219/00486
Abstract: PURPOSE: A droplet generating apparatus for an ultrasonic spray type pyrolysis process and a method for operating the same are provided to uniform the size of droplets by including a plurality of vibrators. CONSTITUTION: A droplet generating apparatus for an ultrasonic spray type pyrolysis process includes a droplet generating part, a vibrating part(200), a main vibrating part(210), and an auxiliary vibrating part. An inlet is formed at one side of the droplet generating part, a carrying gas is introduced through the inlet. An outlet is formed at another side of the droplet generating part. The vibrating part applies ultrasonic vibration to the bottom side of liquid contained in the droplet generating part.
Abstract translation: 目的：提供一种用于超声波喷射型热解过程的液滴产生装置及其操作方法，以通过包括多个振动器使液滴尺寸均匀化。 构成：用于超声波喷射型热解法的液滴产生装置包括液滴产生部分，振动部分（200），主振动部分（210）和辅助振动部分。 入口形成在液滴产生部分的一侧，承载气体通过入口引入。 出口形成在液滴产生部分的另一侧。 所述振动部对所述液滴产生部所含的液体的底面施加超声波振动。
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