公开(公告)号：KR101563806B1

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：KR1020140027921

申请日：2014-03-10

Applicant: 세종대학교산학협력단

Inventor： 김근수 ,  배동재 ,  이임복

IPC: C01B31/02 ,  B01J19/08 ,  C23C16/26

Abstract: 본발명은도핑된그래핀패턴의제조방법을제공한다. 상기제조방법은기판상에 n형탄소전구체를포함하는탄소전구체를분사하는단계, 상기분사된탄소전구체에전자빔또는이온빔을조사하여비정질탄소패턴을형성하는단계, 및상기비정질탄소패턴을열처리하여 n형그래핀패턴을형성하는단계를포함한다. 이에따라, 그래핀패턴을형성할때에발생되는기판손상을줄이고, 그래핀특성이저하되지않고도그래핀패턴을형성할수 있는효과가있다. 또한, 별도의포토리소그래피공정없이간단한공정을통해그래핀패턴및 p-n 다이오드를형성할수 있다.

公开(公告)号：KR1020150106038A

公开(公告)日：2015-09-21

申请号：KR1020140027921

申请日：2014-03-10

Applicant: 세종대학교산학협력단

Inventor： 김근수 ,  배동재 ,  이임복

IPC: C01B31/02 ,  B01J19/08 ,  C23C16/26

CPC classification number: C01B32/186 ,  B01J19/08 ,  C23C16/26

Abstract: 본 발명은 도핑된 그래핀 패턴의 제조방법을 제공한다. 상기 제조방법은 기판 상에 n형 탄소전구체를 포함하는 탄소전구체를 분사하는 단계, 상기 분사된 탄소전구체에 전자빔 또는 이온빔을 조사하여 비정질 탄소 패턴을 형성하는 단계, 및 상기 비정질 탄소 패턴을 열처리하여 n형 그래핀 패턴을 형성하는 단계를 포함한다. 이에 따라, 그래핀 패턴을 형성할 때에 발생되는 기판 손상을 줄이고, 그래핀 특성이 저하되지 않고도 그래핀 패턴을 형성할 수 있는 효과가 있다. 또한, 별도의 포토리소그래피 공정 없이 간단한 공정을 통해 그래핀 패턴 및 pn 다이오드를 형성할 수 있다.

Abstract translation: 本发明提供一种制造掺杂石墨烯图案的方法，包括以下步骤：在基底上喷涂包括n型碳前体的碳前体; 通过用电子束或离子束照射喷射的碳前体而形成无定形碳图案; 以及通过用热处理无定形碳图案形成n型石墨烯图案。 因此，当形成石墨烯图案时引起的对基板的损伤减小，并且可以形成石墨烯图案而不损害石墨烯的性质。 此外，石墨烯图案和p-n二极管可以通过简单的工艺形成，而无需额外的光刻工艺。