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公开(公告)号：KR1020160141351A
公开(公告)日：2016-12-08
申请号：KR1020150110441
申请日：2015-08-05
Applicant: 세종대학교산학협력단
Abstract: 그래핀보호를위한포장장치, 그래핀보호포장방법및 그래핀회수방법을제공한다. 그래핀보호를위한포장장치는롤투롤(roll-to-roll)방식으로금속박막에그래핀을합성하는공간을정의하는합성챔버, 상기합성챔버의양 측에각각형성되는, 제1 롤챔버및 제2 롤챔버및 상기합성챔버와상기제1 롤챔버및 제2 롤챔버사이를각각구분하는제1 게이트및 제2 게이트를포함하고, 상기제1 롤챔버는, 그래핀이합성될기판이되는금속박막을공급하는제1 회전롤을포함하고, 상기제2 롤챔버는, 그래핀이합성된후의금속박막을롤 형태로회수하는제2 회전롤및 상기제2 회전롤에서그래핀이합성된후의금속박막을롤 형태로회수할때, 이형지를삽입하는제3 회전롤을포함한다. 따라서, 금속박막상에합성된그래핀을회수함에있어그래핀의손상을최소화시킬수 있으며, 고품질의그래핀을원상태에가깝게얻을수 있는효과가있다. 나아가, 금속박막에서그래핀을분리하는과정에있어서도시간과비용의소모를줄일수 있는효과가있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020150106038A
公开(公告)日：2015-09-21
申请号：KR1020140027921
申请日：2014-03-10
Applicant: 세종대학교산학협력단
CPC classification number: C01B32/186 , B01J19/08 , C23C16/26
Abstract: 본 발명은 도핑된 그래핀 패턴의 제조방법을 제공한다. 상기 제조방법은 기판 상에 n형 탄소전구체를 포함하는 탄소전구체를 분사하는 단계, 상기 분사된 탄소전구체에 전자빔 또는 이온빔을 조사하여 비정질 탄소 패턴을 형성하는 단계, 및 상기 비정질 탄소 패턴을 열처리하여 n형 그래핀 패턴을 형성하는 단계를 포함한다. 이에 따라, 그래핀 패턴을 형성할 때에 발생되는 기판 손상을 줄이고, 그래핀 특성이 저하되지 않고도 그래핀 패턴을 형성할 수 있는 효과가 있다. 또한, 별도의 포토리소그래피 공정 없이 간단한 공정을 통해 그래핀 패턴 및 pn 다이오드를 형성할 수 있다.
Abstract translation: 本发明提供一种制造掺杂石墨烯图案的方法，包括以下步骤：在基底上喷涂包括n型碳前体的碳前体; 通过用电子束或离子束照射喷射的碳前体而形成无定形碳图案; 以及通过用热处理无定形碳图案形成n型石墨烯图案。 因此，当形成石墨烯图案时引起的对基板的损伤减小，并且可以形成石墨烯图案而不损害石墨烯的性质。 此外，石墨烯图案和p-n二极管可以通过简单的工艺形成，而无需额外的光刻工艺。
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公开(公告)号：KR101760653B1
公开(公告)日：2017-07-25
申请号：KR1020150109898
申请日：2015-08-04
Applicant: 세종대학교산학협력단 , (주) 싸이엔텍
IPC: C01B31/04
Abstract: 그래핀제조장치및 그래핀제조방법을제공한다. 그래침제조장치는챔버내에금속박막롤을감고풀 수있는제1 회전롤및 제2 회전롤이구비되고, 이러한제1 회전롤및 제2 회전롤을정회전및 역회전시키는롤 구동부를포함한다. 따라서, 동일챔버내에서열처리단계와그래핀성장단계를구분하여수행할수 있는그래핀제조장치를제공할수 있다. 따라서, 화학기상증착법을이용한그래핀성장분야에서롤투롤공정에의해만들어지는그래핀의품질을단일박막시트를이용해서만들어지는그래핀의품질만큼향상시킬수 있으면서, 롤투롤공정의장점으로보다많은량의그래핀생산이가능하다.
Abstract translation: 提供了一种石墨烯制造装置和一种石墨烯制造方法。 是针制造设备包括摇驱动部分包括：第一旋转辊和所述第二旋转辊，解决伤口金属薄膜卷到腔室中和，旋转这样的第一旋转辊和所述第二旋转辊，以正向旋转和反向 。 因此，可以提供一种石墨烯制造装置，其能够在同一室内分别进行热处理工序和石墨烯生长工序。 因此，通过在使用化学气相沉积过程中的石墨烯生长区的辊对辊方法制造中止的一个优点是可以改善作为是所述销的质量是通过使用单一的薄板制成，卷对卷工艺中的石墨烯的质量的更多的量， 石墨烯生产是可能的。
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公开(公告)号：KR101716960B1
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：KR1020150110441
申请日：2015-08-05
Applicant: 세종대학교산학협력단
Abstract: 그래핀보호를위한포장장치, 그래핀보호포장방법및 그래핀회수방법을제공한다. 그래핀보호를위한포장장치는롤투롤(roll-to-roll)방식으로금속박막에그래핀을합성하는공간을정의하는합성챔버, 상기합성챔버의양 측에각각형성되는, 제1 롤챔버및 제2 롤챔버및 상기합성챔버와상기제1 롤챔버및 제2 롤챔버사이를각각구분하는제1 게이트및 제2 게이트를포함하고, 상기제1 롤챔버는, 그래핀이합성될기판이되는금속박막을공급하는제1 회전롤을포함하고, 상기제2 롤챔버는, 그래핀이합성된후의금속박막을롤 형태로회수하는제2 회전롤및 상기제2 회전롤에서그래핀이합성된후의금속박막을롤 형태로회수할때, 이형지를삽입하는제3 회전롤을포함한다. 따라서, 금속박막상에합성된그래핀을회수함에있어그래핀의손상을최소화시킬수 있으며, 고품질의그래핀을원상태에가깝게얻을수 있는효과가있다. 나아가, 금속박막에서그래핀을분리하는과정에있어서도시간과비용의소모를줄일수 있는효과가있다.
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公开(公告)号：KR101563806B1
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：KR1020140027921
申请日：2014-03-10
Applicant: 세종대학교산학협력단
Abstract: 본발명은도핑된그래핀패턴의제조방법을제공한다. 상기제조방법은기판상에 n형탄소전구체를포함하는탄소전구체를분사하는단계, 상기분사된탄소전구체에전자빔또는이온빔을조사하여비정질탄소패턴을형성하는단계, 및상기비정질탄소패턴을열처리하여 n형그래핀패턴을형성하는단계를포함한다. 이에따라, 그래핀패턴을형성할때에발생되는기판손상을줄이고, 그래핀특성이저하되지않고도그래핀패턴을형성할수 있는효과가있다. 또한, 별도의포토리소그래피공정없이간단한공정을통해그래핀패턴및 p-n 다이오드를형성할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020160141350A
公开(公告)日：2016-12-08
申请号：KR1020150109898
申请日：2015-08-04
Applicant: 세종대학교산학협력단 , (주) 싸이엔텍
IPC: C01B31/04
Abstract: 그래핀제조장치및 그래핀제조방법을제공한다. 그래침제조장치는챔버내에금속박막롤을감고풀 수있는제1 회전롤및 제2 회전롤이구비되고, 이러한제1 회전롤및 제2 회전롤을정회전및 역회전시키는롤 구동부를포함한다. 따라서, 동일챔버내에서열처리단계와그래핀성장단계를구분하여수행할수 있는그래핀제조장치를제공할수 있다. 따라서, 화학기상증착법을이용한그래핀성장분야에서롤투롤공정에의해만들어지는그래핀의품질을단일박막시트를이용해서만들어지는그래핀의품질만큼향상시킬수 있으면서, 롤투롤공정의장점으로보다많은량의그래핀생산이가능하다.
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