公开(公告)号：KR1020170124108A

公开(公告)日：2017-11-09

申请号：KR1020170056450

申请日：2017-05-02

Applicant: 세종대학교산학협력단

Inventor： 이원준 ,  박재민 ,  유숩루차나라미에르자 ,  노용호

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C16/56 ,  C23C16/34 ,  C23C8/36 ,  C23C16/458 ,  C23C16/54

Abstract: 질소-함유반응물질또는그의플라즈마및 질소플라즈마처리를이용한실리콘질화막의증착방법및 상기실리콘질화막의제조장치에관한것이다.

Abstract translation: 含氮反应材料，其等离子体和氮等离子体处理，以及用于制造氮化硅膜的设备。

公开(公告)号：KR101968966B1

公开(公告)日：2019-08-13

申请号：KR1020170056450

申请日：2017-05-02

Applicant: 세종대학교산학협력단

Inventor： 이원준 ,  박재민 ,  유숩루차나라미에르자 ,  노용호

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C16/56 ,  C23C16/34 ,  C23C8/36 ,  C23C16/458 ,  C23C16/54