Abstract:
본 발명은 높은 투과 특성을 유지하며, 또한 디바이스를 제작하였을 때에 높은 발광 출력 특성을 갖는 디바이스가 되는, Al x Ga (1-x) As(0≤x≤1) 기판, 적외 LED용의 에피택셜 웨이퍼, 적외 LED, Al x Ga (1-x) As 기판의 제조 방법, 적외 LED용의 에피택셜 웨이퍼의 제조 방법 및 적외 LED의 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 Al x Ga (1-x) As 기판(10a)은, 주표면(11a)과, 이 주표면(11a)과 반대측의 이면(11b)을 갖는 Al x Ga (1-x) As층(11)을 구비한 Al x Ga (1-x) As 기판(10a)으로서, Al x Ga (1-x) As층(11)에서, 이면(11b)의 Al의 조성비(x)는, 주표면(11a)의 Al의 조성비(x)보다도 높은 것을 특징으로 하고 있다. 또한 Al x Ga (1-x) As 기판(10a)은, Al x Ga (1-x) As층(11)의 이면(11b)에 접하는 GaAs 기판(13)을 더 구비한다.
Abstract:
A semiconductor light emitting element including a transparent compound semiconductor substrate having a lattice constant not coherent with that of a compound semiconductor that projects light. A semiconductor light emitting element (10) is provided with a GaP substrate (1), an active layer (4), which is positioned at an upper part of the GaP substrate (1) and includes an n- type AlInGaP layer and a p-type AlInGaP layer, and an ELO layer (3), which is positioned between the GaP substrate (1) and the active layer (4) and is formed by epitaxial horizontal direction growth. ® KIPO & WIPO 2007
Abstract:
본 발명은 높은 투과 특성을 유지하며 또한 디바이스를 제작하였을 때에 높은 특성을 갖는 디바이스가 되는, Al x Ga (1-x) As(0≤x≤1) 기판, 적외 LED용 에피택셜 웨이퍼, 적외 LED, Al x Ga (1-x) As 기판의 제조 방법, 적외 LED용 에피택셜 웨이퍼의 제조 방법 및 적외 LED의 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 Al x Ga (1-x) As 기판(10a)은 주표면(11a)과, 이 주표면(11a)과 반대측의 이면(11b)을 갖는 Al x Ga (1-x) As층(11)을 구비한 Al x Ga (1-x) As 기판(10a)으로서, Al x Ga (1-x) As층(11)에서, 이면(11b)의 Al의 조성비(x)는 주표면(11a)의 Al의 조성비(x)보다 높은 것을 특징으로 한다. 또한 Al x Ga (1-x) As 기판(10a)은 Al x Ga (1-x) As층(11)의 이면(11b)에 접하는 GaAs 기판(13)을 더 구비한다.
Abstract:
본 발명은 높은 투과 특성을 유지하며, 디바이스를 제작하였을 때에 높은 특성을 갖는 디바이스가 되는, Al x Ga (1-x) As(0≤x≤1) 기판, 적외 LED용의 에피택셜 웨이퍼, 적외 LED, Al x Ga (1-x) As 기판의 제조 방법, 적외 LED용의 에피택셜 웨이퍼의 제조 방법 및 적외 LED의 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 Al x Ga (1-x) As 기판(10a)은 주표면(11a)과, 이 주표면(11a)과 반대측의 이면(11b)을 갖는 Al x Ga (1-x) As층(11)을 구비한 Al x Ga (1-x) As 기판(10a)으로서, Al x Ga (1-x) As층(11)에서, 이면(11b)의 Al의 조성비(x)는, 주표면(11a)의 Al의 조성비(x)보다도 높은 것을 특징으로 하고 있다. 또한 Al x Ga (1-x) As 기판(10a)은, Al x Ga (1-x) As층(11)의 이면(11b)에 접하는 GaAs 기판(13)을 더 구비하고 있다.