광도파로 및 그제조방법
    2.
    发明授权
    광도파로 및 그제조방법 失效
    光波导及其制造方法

    公开(公告)号:KR100180921B1

    公开(公告)日:1999-05-15

    申请号:KR1019940000463

    申请日:1994-01-13

    CPC classification number: G02B6/136 C03C13/045 G02B6/132

    Abstract: 본 발명에 관한 광도파로를 형성하는 방법에서는, 석영을 주성분으로 하는 코어와 코어의 주위를 둘러싸는 클래드층을 포함하는 광도파로는, 화염가수분해퇴적에 의해 유리미세입자를 퇴적하고, 유리미세입자층을 유리화함으로써, 형성된다.
    상기 방법은, 클래드층으로 되는 유리미세입자층을 형성할때에 화염버너에 인의 공급량을 일시적으로 증가하는 단계를 포함한다.
    화염버너에 인을 공급함이 없이 유리미세입자층을 퇴적한 후에, 처음으로 상기 공정에서 인을 공급함으로써, 코어근처에 이물질의 발생을 억제할 수 있다.
    본 발명에 따른 광도파로의 제조방법은 화염가수분해퇴적에 의해 코어(132a)또는 코어(132a)를 둘러싸는 클래드층(122),(142)을 제조하기 위한 것으로서, 인을 함유한 유리미세입자층을 퇴적한 후에 유리미세입자층을 유리화함으로써, 10㎛ 이하의 두께를 가지는 유리막(122a),(122b)을 형성하는 것을 특징으로 한다.
    상기 유리막형성단계는 2회 이상 반복하여, 코어 또는 코어를 둘러싸는 클래드층으로 되는 유리층을 형성한다. 본 발명은, 불균일하게 유리화된 막을 억제할수 있고, 특히 클래드층의 인의 농도를 균일하게 할수 있다. 결과적으로, 전파손실을 작게할 수 있다.

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