公开(公告)号：KR1019950003201A

公开(公告)日：1995-02-16

申请号：KR1019940017721

申请日：1994-07-22

Applicant: 스미토모덴키고교가부시키가이샤

Inventor： 사이토마사히데 ,  카나모리히로오 ,  우라노아키라 ,  코고타카시 ,  히로세치사이

IPC: C03B37/012

Abstract: 본원에는 FHD법, VAD법 또는 OVD법에 소요되는 유리형성가스를 생성하기 위한 가스생성장치가 개시되어 있다. 유리형성재료를 액체상태 그대로 기화기로 공급하고, 이 액체재료는 액체상태를 유지하면서 그 공급량은 액체유량제어수단에 의해 직접 제어된다. 또, 액체재료를 기화기에서 기화시킴과 동시에, 이 기화기에는 불활성가스 또는 연소가스를 일정량 공급수단에 의해 일정량 공급한다. 이것에 의해 기화기의 내압상승이 방지되므로, 액체재료는 기화기에 안정하게 공급된다. 따라서, 대기압의 변화에 의한 영향을 받지 않고 기화기에서는 일정량의 액체재료의 기화를 항상 수행할 수 있다. 또한, 액체재료는 일정량 공급수단으롱부터 일정량 공급되는 불활성가스 또는 연소가스와 함께 버너로 공급되므로, 버너는 항상 일정량의 재료가스를 분사할 수 있다.
(제3도)

公开(公告)号：KR1019940018674A

公开(公告)日：1994-08-18

申请号：KR1019940000463

申请日：1994-01-13

Applicant: 스미토모덴키고교가부시키가이샤

Inventor： 히로세치사이 ,  가나모리히로오 ,  우라노아키라 ,  이시카와신지 ,  아이카와하루히코 ,  사이토마사히데 ,  코우고타카시

IPC: G02B6/10

公开(公告)号：KR100180921B1

公开(公告)日：1999-05-15

申请号：KR1019940000463

申请日：1994-01-13

Applicant: 스미토모덴키고교가부시키가이샤

Inventor： 히로세치사이 ,  가나모리히로오 ,  우라노아키라 ,  이시카와신지 ,  아이카와하루히코 ,  사이토마사히데 ,  코우고타카시

IPC: G02B6/10

CPC classification number: G02B6/136 ,  C03C13/045 ,  G02B6/132

Abstract: 본 발명에 관한 광도파로를 형성하는 방법에서는, 석영을 주성분으로 하는 코어와 코어의 주위를 둘러싸는 클래드층을 포함하는 광도파로는, 화염가수분해퇴적에 의해 유리미세입자를 퇴적하고, 유리미세입자층을 유리화함으로써, 형성된다.
상기 방법은, 클래드층으로 되는 유리미세입자층을 형성할때에 화염버너에 인의 공급량을 일시적으로 증가하는 단계를 포함한다.
화염버너에 인을 공급함이 없이 유리미세입자층을 퇴적한 후에, 처음으로 상기 공정에서 인을 공급함으로써, 코어근처에 이물질의 발생을 억제할 수 있다.
본 발명에 따른 광도파로의 제조방법은 화염가수분해퇴적에 의해 코어(132a)또는 코어(132a)를 둘러싸는 클래드층(122),(142)을 제조하기 위한 것으로서, 인을 함유한 유리미세입자층을 퇴적한 후에 유리미세입자층을 유리화함으로써, 10㎛ 이하의 두께를 가지는 유리막(122a),(122b)을 형성하는 것을 특징으로 한다.
상기 유리막형성단계는 2회 이상 반복하여, 코어 또는 코어를 둘러싸는 클래드층으로 되는 유리층을 형성한다. 본 발명은, 불균일하게 유리화된 막을 억제할수 있고, 특히 클래드층의 인의 농도를 균일하게 할수 있다. 결과적으로, 전파손실을 작게할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020010070514A

公开(公告)日：2001-07-25

申请号：KR1020010001614

申请日：2001-01-11

Applicant: 스미토모덴키고교가부시키가이샤

Inventor： 사사키다카시 ,  히라이시게루 ,  아카사카노부히로 ,  다나카시게루 ,  히로세치사이

IPC: G02B6/12

CPC classification number: G02B6/12023 ,  G02B6/105 ,  G02B6/122 ,  G02B6/132

Abstract: PURPOSE: An optical waveguide is provided to achieve a high density arrangement of a core waveguide by eliminating crystals generated on the interface between the core waveguide and the over cladding part and preventing formation of a thin film layer having a refractive index larger than that of the other part in the over cladding part, on the interface between the core waveguide and the over cladding part. CONSTITUTION: The optical waveguide comprises a substrate(1), a core waveguide(2) formed thereon, and an over cladding part(3b) comprising a silica based glass with a refractive index lowering dopant and a refractive index increasing dopant added, formed on the substrate so as to cover the core waveguide. The segregation layer(3a) with a higher concentration of the refractive index increasing dopant is formed in contact with the substrate and the core waveguide. The over cladding part(3) is provided by forming a porous silica based glass layer by accumulating glass fine particles and a dopant such as B2O3 or P2O5 on the substrate(1) by a FHD method so as to cover the core waveguide(2), then, sintering the porous silica based glass layer for transmitting the light in the core.

Abstract translation: 目的：提供一种光波导，通过消除在芯波导和上包层部分之间的界面上产生的晶体来实现芯波导的高密度布置，并且防止形成折射率大于 在上包层部分的另一部分，在芯波导和上包层部分之间的界面上。 构成：光波导包括基板（1），形成在其上的芯波导（2）和包括部分（3b）的上包层部分（3b），其包括具有折射率降低掺杂剂的二氧化硅基玻璃和添加的折射率增加掺杂剂，形成在 该衬底以覆盖芯波导。 具有较高浓度的折射率增加掺杂剂的偏析层（3a）形成为与衬底和芯波导接触。 通过以FHD方法在基板（1）上积聚玻璃微粒和B 2 O 3或P 2 O 5等掺杂物以覆盖芯波导（2），形成多孔二氧化硅基玻璃层来提供上包层部分（3） ，然后烧结多孔二氧化硅基玻璃层，用于透过芯中的光。