-
-
公开(公告)号:KR101819825B1
公开(公告)日:2018-01-18
申请号:KR1020160073440
申请日:2016-06-13
Applicant: 아주대학교산학협력단
CPC classification number: H01L21/28 , C23C18/165 , C23C18/2086 , C23C18/405 , C23C28/322 , C23C28/345 , H01L21/02172 , H01L21/02266 , H01L21/02631 , H01L21/44 , H01L21/76874 , H01L51/0097 , H01L51/5203
Abstract: 플렉시블전극의제조방법이개시된다. 플렉시블전극의제조방법은플라스틱기판을세정하는단계, 플라스틱기판상에스퍼터링공정을통해금속산화물시드층을형성하는단계및 금속산화물시드층상에금속무전해도금층을형성하는단계를구비한다.
-
公开(公告)号:KR101886963B1
公开(公告)日:2018-08-08
申请号:KR1020170036558
申请日:2017-03-23
Applicant: 아주대학교산학협력단
Abstract: 본발명은니켈계금속포일상에주석전구체를이용하는화학기상증착법을통해주석을상기니켈계금속포일상에증착하여, 상기니켈계금속포일표면에니켈/주석합금층을형성하는단계;를포함, 니켈계금속포일의비저항조절방법에관한것이다.
-
公开(公告)号:KR1020170140739A
公开(公告)日:2017-12-21
申请号:KR1020160073440
申请日:2016-06-13
Applicant: 아주대학교산학협력단
CPC classification number: H01L21/28 , C23C18/165 , C23C18/2086 , C23C18/405 , C23C28/00 , H01L21/02172 , H01L21/02266 , H01L21/02631 , H01L21/44 , H01L21/76874 , H01L51/0097 , H01L51/5203 , H01B13/0026 , H01B5/14 , H01B7/04 , H01B13/0036 , H01B13/222
Abstract: 플렉시블전극의제조방법이개시된다. 플렉시블전극의제조방법은플라스틱기판을세정하는단계, 플라스틱기판상에스퍼터링공정을통해금속산화물시드층을형성하는단계및 금속산화물시드층상에금속무전해도금층을형성하는단계를구비한다.
Abstract translation: 公开了一种柔性电极的制造方法。 柔性电极的制造方法包括清洁塑料基板的步骤,通过溅射工艺在塑料基板上形成金属氧化物种子层的步骤,以及在金属氧化物种子层上形成金属化学镀层的步骤。
-
-
-