公开(公告)号：WO2022103111A1

公开(公告)日：2022-05-19

申请号：PCT/KR2021/016199

申请日：2021-11-09

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김동민 ,  이용봉 ,  정성수 ,  전병수

IPC: G01M7/02 ,  G01P21/00 ,  G01C25/00

Abstract: 본 발명은 진동센서의 교정을 위한 진동 발생장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 진동센서가 배치 안착되는 이송몸체가 리플 방지부에 의해 상하 및 좌우이동이 제한된 상태로 가이드 레일을 따라 이동되도록 구성됨에 따라, 직진 성능이 향상되어 진동센서의 교정 신뢰도를 향상할 수 있는 기생운동 및 리플이 최소 발생 가능한 진동 발생장치에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR102167080B1

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：KR1020190064717

申请日：2019-05-31

Applicant: 아주대학교산학협력단 ,  한국표준과학연구원

Inventor： 최영만 ,  윤경택 ,  김동민

IPC: G01G21/23 ,  G01G21/18

公开(公告)号：KR1020160090934A

公开(公告)日：2016-08-02

申请号：KR1020150010452

申请日：2015-01-22

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김동민 ,  이혁교 ,  김영식 ,  이주형 ,  이광철 ,  우병칠 ,  서종규

IPC: H01L51/56 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L51/56 ,  H01L21/6831 ,  H01L2224/75744

Abstract: 본발명은증착장치에사용되는척을가공하는방법및 가공하는장치에관한것이다. 본발명의일예와관련된척 가공방법은척이사용되는공정의온도환경및 상기척의물성을이용하는유한요소법(FEM, Finite Elements Method)에따라상기척의변형을예측하는제 1 단계; 상기예측된변형의역변형형태를상기척의가공형태인제 1 형태로결정하는제 2 단계; 및상기제 1 형태에따라상기척을가공하는제 3 단계;를포함할수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于处理用于沉积设备的卡盘的方法和设备，以便即使发生下垂也向用户提供平面形卡盘。 用于处理与本发明的实施例相关的卡盘的方法包括：第一步骤，使用使用卡盘的工艺的温度环境和材料来估计卡盘的修改根据有限元法（FEM） 卡盘的性质; 将所述估计修改的反向修改形式确定为作为所述卡盘的处理形式的第一形式的第二步骤; 以及根据第一形式处理卡盘的第三步骤。

公开(公告)号：KR101907728B1

公开(公告)日：2018-10-15

申请号：KR1020150010452

申请日：2015-01-22

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김동민 ,  이혁교 ,  김영식 ,  이주형 ,  이광철 ,  우병칠 ,  서종규

IPC: H01L51/56 ,  H01L21/683

Abstract: 본발명은증착장치에사용되는척을가공하는방법및 가공하는장치에관한것이다. 본발명의일예와관련된척 가공방법은척이사용되는공정의온도환경및 상기척의물성을이용하는유한요소법(FEM, Finite Elements Method)에따라상기척의변형을예측하는제 1 단계; 상기예측된변형의역변형형태를상기척의가공형태인제 1 형태로결정하는제 2 단계; 및상기제 1 형태에따라상기척을가공하는제 3 단계;를포함할수 있다.