公开(公告)号：KR1020170129793A

公开(公告)日：2017-11-27

申请号：KR1020177027776

申请日：2016-03-18

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 주헨트룬크크리슈토프 ,  슈바르츠크리슈티안

IPC: C23C18/18 ,  C23C18/16

CPC classification number: H01L21/32053 ,  C23C18/1642 ,  C23C18/1655 ,  C23C18/1678 ,  C23C18/1692 ,  C23C18/1879 ,  C23C18/34 ,  C23C18/36 ,  C23C18/38 ,  H01L21/288 ,  H01L21/76838

Abstract: 본발명은실리콘기판의활성화를위한활성화조성물에관한것으로, 팔라듐이온의소스, 불소이온의소스및 적어도 2종의방향족산들을포함하는수용액이다. 본발명은또한그 사용방법및 선택적으로이러한처리된기판의후속금속화를위한방법에관한것이다. 방법은반도체및 태양전지제조에채용될수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及用于活化硅衬底的活化组合物，其是包含钯离子源，氟离子源和至少两种芳族酸的水溶液。 本发明还涉及其使用方法以及任选地用于随后对这种处理过的基材进行金属化的方法。 该方法可用于半导体和太阳能电池制造。