公开(公告)号：KR101945555B1

公开(公告)日：2019-02-07

申请号：KR1020137030435

申请日：2012-04-17

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 브뤼닝프랑크 ,  벡비르기트 ,  도쎄베시 ,  에츠코른요하네스

IPC: C23C18/20 ,  C23C18/28 ,  C23C18/30 ,  C23C18/40

公开(公告)号：KR1020140023368A

公开(公告)日：2014-02-26

申请号：KR1020137030435

申请日：2012-04-17

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 브뤼닝프랑크 ,  벡비르기트 ,  도쎄베시 ,  에츠코른요하네스

IPC: C23C18/20 ,  C23C18/28 ,  C23C18/30 ,  C23C18/40

CPC classification number: C03C17/40 ,  C03C17/10 ,  C23C18/1889 ,  C23C18/40 ,  Y10T428/12597

Abstract: 본 발명은 몰리브덴 또는 티탄 등의 금속 및 그러한 금속들을 함유하는 합금을 포함하는 금속 또는 금속 합금 구조물 상의 금속 또는 금속 합금의 무전해 도금 방법을 개시한다. 본 방법은 활성화 단계, 적어도 하나의 질소 함유 화합물 또는 히드록시 카르복실 산을 포함하는 수용액에서의 처리 단계 및 금속 또는 금속 합금의 무전해 도금 단계를 포함한다.

公开(公告)号：KR102142173B1

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：KR1020157025590

申请日：2014-03-25

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 브뤼닝프랑크 ,  랑함머엘리자 ,  메르슈키미하엘 ,  로빈스키크리슈티안 ,  슐체외르크 ,  에츠코른요하네스 ,  벡비르기트

IPC: C23C18/40

公开(公告)号：KR1020150133721A

公开(公告)日：2015-11-30

申请号：KR1020157025590

申请日：2014-03-25

Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하

Inventor： 브뤼닝프랑크 ,  랑함머엘리자 ,  메르슈키미하엘 ,  로빈스키크리슈티안 ,  슐체외르크 ,  에츠코른요하네스 ,  벡비르기트

IPC: C23C18/38 ,  C23C18/40

CPC classification number: C23C18/40 ,  C23C18/1639 ,  C23C18/405 ,  H01L21/76879 ,  H01L23/53228 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 본발명은, - 구리이온의공급원, - 환원제또는환원제의공급원, 및 - 착화제로서, i) 하나이상의폴리아미노디석신산또는하나이상의폴리아미노모노석신산, 또는하나이상의폴리아미노디석신산과하나이상의폴리아미노모노석신산의혼합물과, ii) 에틸렌디아민테트라아세트산, N'-(2-하이드록시에틸)-에틸렌디아민-N,N,N'-트리아세트산및 N,N,N',N'-테트라키스 (2-하이드록시프로필)에틸렌디아민으로이루어진군으로부터선택된하나이상의화합물의배합물의배합물을포함하는무전해구리도금수용액뿐만아니라, 상기용액을이용하는무전해구리도금방법및 기판의도금을위한상기용액의용도에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种无电镀铜电镀溶液，其包括 - 铜离子源，还原剂或还原剂源，和 - i）至少一种聚氨基二琥珀酸或至少一种聚氨基 单琥珀酸或至少一种聚氨基二琥珀酸与至少一种聚氨基单琥珀酸的混合物，和ii）一种或多种选自乙二胺四乙酸，N' - （2-羟乙基） - 乙二胺-N，N，N'-三乙酸和N，N，N'，N'-四（2-羟丙基）乙二胺作为络合剂，以及使用所述溶液的无电镀铜方法和 使用该溶液进行电镀基板。