公开(公告)号：KR101818864B1

公开(公告)日：2018-01-16

申请号：KR1020160129979

申请日：2016-10-07

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 심우영 ,  김혜온 ,  김태훈 ,  김도헌

IPC: C23C16/44 ,  C23C14/28 ,  H04R7/12

CPC classification number: C23C16/4415 ,  B81B2201/05 ,  C23C14/28 ,  H04R7/12

Abstract: 본발명은음파진동을이용한미세물질어레이및 그제조방법을제공한다. 일실시예에따르면, 음파진동을이용한미세물질어레이는, 기판; 및음파진동에따른 2차원정상파형태의미세패턴구조에따라서상기기판상에형성된미세물질;을포함한다.

Abstract translation: 本发明提供了一种使用声波振动的微材料阵列及其制造方法。 根据一个实施例，使用声波振动的微材料阵列包括：衬底; 并且根据声波振动根据二维驻波型精细图案结构在基板上形成精细材料。

公开(公告)号：KR101794549B1

公开(公告)日：2017-11-08

申请号：KR1020160033741

申请日：2016-03-22

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 심우영 ,  김도헌 ,  조성준

IPC: G01Q60/52 ,  G01Q60/38

Abstract: 본발명은복수의층을형성하는커패시터에복수의탐침이배열된팁 어레이를포함하여, 대면적표면이미지의획득이가능하도록하는대면적이미지획득용전기공명모드주사탐침현미경의팁 구조체및 이것의제조방법에관한것이다.

Abstract translation: 本发明通过，用于haneundae面积，以使所获得的尖端结构的电谐振模式扫描探针制造区域图像的表面图像的获得，并且这在显微镜用于多个尖端阵列的，探头被布置在形成多个层的电容器 ＆lt;

公开(公告)号：KR1020170110182A

公开(公告)日：2017-10-11

申请号：KR1020160033741

申请日：2016-03-22

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 심우영 ,  김도헌 ,  조성준

IPC: G01Q60/52 ,  G01Q60/38

CPC classification number: G01Q60/52 ,  G01Q60/38 ,  H01L2224/05191

Abstract: 본발명은복수의층을형성하는커패시터에복수의탐침이배열된팁 어레이를포함하여, 대면적표면이미지의획득이가능하도록하는대면적이미지획득용전기공명모드주사탐침현미경의팁 구조체및 이것의제조방법에관한것이다.