公开(公告)号：KR1020200133428A

公开(公告)日：2020-11-30

申请号：KR1020190058576

申请日：2019-05-20

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 이관형 ,  이종영 ,  강소정 ,  김한결 ,  정연준

IPC: H01L21/67 ,  C23C16/455 ,  H01L21/687

Abstract: 본발명은화학기상증착시스템에관한것이다. 본발명의일 실시예에따르면, 화학기상증착시스템은피처리체가수용되는반응공간을제공하는반응챔버및 상기반응챔버내에서상기피처리체의위치를제어하는샘플홀더를포함하는화학기상증착장치; 및상기화학기상증착장치를고정및 지지하며, 상기반응챔버가지면에수직한제 1 방향또는상기지면과수평한제 2 방향에정렬되도록상기화학기상증착장치를회전시키는장치용거치대를포함하며, 상기샘플홀더는제 1 단부와제 2 단부를포함하며, 상기샘플홀더의제 1 단부는상기반응챔버의일단부에고정되며, 상기샘플홀더의상기제 2 단부는상기제 1 방향과상기제 2 방향에서상기반응챔버내부로공급될기체의흐름방향과평행하도록상기피처리체를고정시킬수 있다.

公开(公告)号：KR102198340B1

公开(公告)日：2021-01-04

申请号：KR1020190058576

申请日：2019-05-20

Applicant: 연세대학교 산학협력단

Inventor： 이관형 ,  이종영 ,  강소정 ,  김한결 ,  정연준

IPC: H01L21/67 ,  C23C16/455 ,  H01L21/687

Abstract: 본발명은화학기상증착시스템에관한것이다. 본발명의일 실시예에따르면, 화학기상증착시스템은피처리체가수용되는반응공간을제공하는반응챔버및 상기반응챔버내에서상기피처리체의위치를제어하는샘플홀더를포함하는화학기상증착장치; 및상기화학기상증착장치를고정및 지지하며, 상기반응챔버가지면에수직한제 1 방향또는상기지면과수평한제 2 방향에정렬되도록상기화학기상증착장치를회전시키는장치용거치대를포함하며, 상기샘플홀더는제 1 단부와제 2 단부를포함하며, 상기샘플홀더의제 1 단부는상기반응챔버의일단부에고정되며, 상기샘플홀더의상기제 2 단부는상기제 1 방향과상기제 2 방향에서상기반응챔버내부로공급될기체의흐름방향과평행하도록상기피처리체를고정시킬수 있다.