公开(公告)号：KR1020160021967A

公开(公告)日：2016-02-29

申请号：KR1020140107167

申请日：2014-08-18

Applicant: 재단법인대구경북과학기술원

Inventor： 전동환 ,  고병수 ,  황대규 ,  강진규

IPC: H01L31/0749 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/024 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/0326 ,  H01L31/18 ,  H01L31/1864 ,  H01L31/1876 ,  Y02E10/541

Abstract: 본발명은 (a) Cu, Zn 및 Sn을동시진공증발법으로기판에증착하는단계; (b) 단계 (a)에서증착된박막에 S, Se 또는 S 및 Se을증착하는단계; 및 (c) 열처리단계를포함하는 CZTS/CZTSe계박막의제조방법에관한것으로, 본발명에의하는경우박막내의 Sn의소실을최소화하고, 열처리시 VI 족원소를별도를공급할필요가없으므로, 공정의비용이절감되는이점이있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造CZTS / CZTSe的薄膜的方法，包括以下步骤：（a）通过同时真空蒸发法在衬底上沉积Cu，Zn和Sn; （b）在步骤（a）中沉积的薄膜上沉积S，Se或S和Se; 和（c）进行热处理。 本发明使薄膜中Sn的损失最小化，并且不需要在热处理期间单独供应VI族元素，从而降低了工艺成本。

公开(公告)号：KR101835580B1

公开(公告)日：2018-04-19

申请号：KR1020160119445

申请日：2016-09-19

Applicant: 재단법인대구경북과학기술원

Inventor： 고병수 ,  황대규 ,  김대환

IPC: H01L31/0392 ,  H01L31/0445 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 본발명은동시증발법을통해 CZTS계전구체를형성하고 VI족원소를공급함과동시에불활성기체하에서급속열처리함으로써밴드갭기울기를갖는박막과이를이용한박막태양전지에관한것으로, 본발명에따른 CZTS계박막태양전지의제조방법은기판을준비하는단계; 기판위에후면전극을형성하는단계; 상기후면전극위에 Cu 전구체, Zn 전구체, Sn 전구체및 VI족원소전구체를포함하는금속전구체를증착시켜금속전구체층을형성하는단계; 및불활성기체분위기하에서열처리하여광흡수층을제조하는단계를포함한다.

公开(公告)号：KR101656842B1

公开(公告)日：2016-09-13

申请号：KR1020140107167

申请日：2014-08-18

Applicant: 재단법인대구경북과학기술원

Inventor： 전동환 ,  고병수 ,  황대규 ,  강진규

IPC: H01L31/0749 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/024 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 본발명은 (a) Cu, Zn 및 Sn을동시진공증발법으로기판에증착하는단계; (b) 단계 (a)에서증착된박막에 S, Se 또는 S 및 Se을증착하는단계; 및 (c) 열처리단계를포함하는 CZTS/CZTSe계박막의제조방법에관한것으로, 본발명에의하는경우박막내의 Sn의소실을최소화하고, 열처리시 VI 족원소를별도를공급할필요가없으므로, 공정의비용이절감되는이점이있다.

公开(公告)号：KR1020170036617A

公开(公告)日：2017-04-03

申请号：KR1020160119445

申请日：2016-09-19

Applicant: 재단법인대구경북과학기술원

Inventor： 고병수 ,  황대규 ,  김대환

IPC: H01L31/0392 ,  H01L31/0445 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/02168 ,  H01L31/022441 ,  H01L31/0445 ,  H01L31/18

Abstract: 본발명은동시증발법을통해 CZTS계전구체를형성하고 VI족원소를공급함과동시에불활성기체하에서급속열처리함으로써밴드갭기울기를갖는박막과이를이용한박막태양전지에관한것으로, 본발명에따른 CZTS계박막태양전지의제조방법은기판을준비하는단계; 기판위에후면전극을형성하는단계; 상기후면전극위에 Cu 전구체, Zn 전구체, Sn 전구체및 VI족원소전구체를포함하는금속전구체를증착시켜금속전구체층을형성하는단계; 및불활성기체분위기하에서열처리하여광흡수층을제조하는단계를포함한다.

Abstract translation: 本发明涉及通过在惰性气体下形成CZTS并发蒸发法，并在同一时间基前体，快速热退火和使用具有带隙渐变的薄膜在薄膜太阳能电池供给的VI族元素和根据本发明的这一点，CZTS系薄膜 一种制造太阳能电池的方法包括：准备基板; 在衬底上形成背面电极; 其中，所述后通过沉积含前驱铜，锌前驱物，锡前体和所述电极，以形成金属前驱体层上的第VI族元素的前体的金属前体; 并且在惰性气体气氛中进行热处理以制造光吸收层。

公开(公告)号：KR101582200B1

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：KR1020140147345

申请日：2014-10-28

Applicant: 재단법인대구경북과학기술원

Inventor： 고병수 ,  전동환 ,  황대규 ,  강진규

IPC: H01L31/0445 ,  H01L31/046 ,  H01L31/0272 ,  H01L31/0264

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 본발명은 CZTS계태양전지용박막의제조방법으로서, (a) 기판을준비하는단계; (b) 기판위에구리전구체, 아연전구체, 주석전구체및 VI족원소의전구체를함유하는 CZTS계광흡수층전구체를증착하여전구체층을형성하는단계; 및 (c) 전구체층을열처리하여광흡수층을제조하는단계를포함하고, 상기열처리는 VI족원소의추가적인공급이없이진행되고, 열처리시열에너지가기판후면으로부터전구체층으로전달되도록하는방법에관한것이다.

公开(公告)号：KR101542342B1

公开(公告)日：2015-08-06

申请号：KR1020130115670

申请日：2013-09-27

Applicant: 재단법인대구경북과학기술원

Inventor： 전동환 ,  고병수 ,  황대규 ,  강진규

IPC: H01L31/04 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 본기재는 CZTS계태양전지의박막제조방법에관한것으로,Cu 전구체, Zn 전구체, Sn 전구체및 VI족원소전구체를포함하는금속전구체를제공하는단계; 기판을준비하는단계; 기판위에후면전극을형성하는단계; 상기후면전극위에상기금속전구체를증착하여전구체층을형성하는단계; 및상기전구체층을열처리하여광흡수층을제조하는단계를포함하며, 상기금속전구체내의 [VI족원소]/[Cu+Zn+Sn]의원소비가 1.2 이상인것을특징으로하는방법에관한것이다.

公开(公告)号：KR1020150035298A

公开(公告)日：2015-04-06

申请号：KR1020130115670

申请日：2013-09-27

Applicant: 재단법인대구경북과학기술원

Inventor： 전동환 ,  고병수 ,  황대규 ,  강진규

IPC: H01L31/04 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/18 ,  H01L31/04

Abstract: 본기재는 CZTS계태양전지의박막제조방법에관한것으로,Cu 전구체, Zn 전구체, Sn 전구체및 VI족원소전구체를포함하는금속전구체를제공하는단계; 기판을준비하는단계; 기판위에후면전극을형성하는단계; 상기후면전극위에상기금속전구체를증착하여전구체층을형성하는단계; 및상기전구체층을열처리하여광흡수층을제조하는단계를포함하며, 상기금속전구체내의 [VI족원소]/[Cu+Zn+Sn]의원소비가 1.2 이상인것을특징으로하는방법에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种制造CZTS太阳能电池薄膜的方法。 该方法包括：提供Cu前体，Zn前体，Sn前体和VI元素前体的步骤; 制备基材的步骤; 通过沉积金属前体在背面电极上形成前体层的步骤; 以及通过对前体层进行热处理来制造光吸收层的步骤。 金属前体中的[VI元素] / [Cu + Zn + Sn]的比例为1.2以上。

公开(公告)号：KR1020150051151A

公开(公告)日：2015-05-11

申请号：KR1020140147345

申请日：2014-10-28

Applicant: 재단법인대구경북과학기술원

Inventor： 고병수 ,  전동환 ,  황대규 ,  강진규

IPC: H01L31/0445 ,  H01L31/046 ,  H01L31/0272 ,  H01L31/0264

CPC classification number: Y02E10/50 ,  H01L31/0445 ,  H01L31/0264 ,  H01L31/0272 ,  H01L31/046

Abstract: 본발명은 CZTS계태양전지용박막의제조방법으로서, (a) 기판을준비하는단계; (b) 기판위에구리전구체, 아연전구체, 주석전구체및 VI족원소의전구체를함유하는 CZTS계광흡수층전구체를증착하여전구체층을형성하는단계; 및 (c) 전구체층을열처리하여광흡수층을제조하는단계를포함하고, 상기열처리는 VI족원소의추가적인공급이없이진행되고, 열처리시열에너지가기판후면으로부터전구체층으로전달되도록하는방법에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种制备用于太阳能电池的CZTS薄膜的方法，更具体地涉及包括以下步骤的方法：（a）制备基板; （b）在基板上沉积含有铜前体，锌前体，锡前体和VI族元素的CZTS光吸收层前体，形成前体层; 和（c）热处理前体层并制造光吸收层，其中热处理在不额外供应VI族元素的情况下进行，热能在热处理期间从基底的后部转移到前体层 。