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公开(公告)号:KR101582200B1
公开(公告)日:2016-01-20
申请号:KR1020140147345
申请日:2014-10-28
Applicant: 재단법인대구경북과학기술원
IPC: H01L31/0445 , H01L31/046 , H01L31/0272 , H01L31/0264
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본발명은 CZTS계태양전지용박막의제조방법으로서, (a) 기판을준비하는단계; (b) 기판위에구리전구체, 아연전구체, 주석전구체및 VI족원소의전구체를함유하는 CZTS계광흡수층전구체를증착하여전구체층을형성하는단계; 및 (c) 전구체층을열처리하여광흡수층을제조하는단계를포함하고, 상기열처리는 VI족원소의추가적인공급이없이진행되고, 열처리시열에너지가기판후면으로부터전구체층으로전달되도록하는방법에관한것이다.
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公开(公告)号:KR101542342B1
公开(公告)日:2015-08-06
申请号:KR1020130115670
申请日:2013-09-27
Applicant: 재단법인대구경북과학기술원
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 본기재는 CZTS계태양전지의박막제조방법에관한것으로,Cu 전구체, Zn 전구체, Sn 전구체및 VI족원소전구체를포함하는금속전구체를제공하는단계; 기판을준비하는단계; 기판위에후면전극을형성하는단계; 상기후면전극위에상기금속전구체를증착하여전구체층을형성하는단계; 및상기전구체층을열처리하여광흡수층을제조하는단계를포함하며, 상기금속전구체내의 [VI족원소]/[Cu+Zn+Sn]의원소비가 1.2 이상인것을특징으로하는방법에관한것이다.
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公开(公告)号:KR1020150035298A
公开(公告)日:2015-04-06
申请号:KR1020130115670
申请日:2013-09-27
Applicant: 재단법인대구경북과학기술원
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/18 , H01L31/04
Abstract: 본기재는 CZTS계태양전지의박막제조방법에관한것으로,Cu 전구체, Zn 전구체, Sn 전구체및 VI족원소전구체를포함하는금속전구체를제공하는단계; 기판을준비하는단계; 기판위에후면전극을형성하는단계; 상기후면전극위에상기금속전구체를증착하여전구체층을형성하는단계; 및상기전구체층을열처리하여광흡수층을제조하는단계를포함하며, 상기금속전구체내의 [VI족원소]/[Cu+Zn+Sn]의원소비가 1.2 이상인것을특징으로하는방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种制造CZTS太阳能电池薄膜的方法。 该方法包括:提供Cu前体,Zn前体,Sn前体和VI元素前体的步骤; 制备基材的步骤; 通过沉积金属前体在背面电极上形成前体层的步骤; 以及通过对前体层进行热处理来制造光吸收层的步骤。 金属前体中的[VI元素] / [Cu + Zn + Sn]的比例为1.2以上。
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公开(公告)号:KR1020140061618A
公开(公告)日:2014-05-22
申请号:KR1020120128288
申请日:2012-11-13
Applicant: 재단법인대구경북과학기술원
IPC: H01L31/042 , H01L31/06 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/042 , H01L31/06 , H01L31/18
Abstract: The present invention relates to a method of manufacturing a buffer layer for a compound thin film solar cell using electromagnetic waves. The method deposits the buffer layer by using a dielectric heating method of electromagnetic waves instead of a transferring method using a constant temperature chamber, which is a heat source supply method of a conventional chemical deposition method. As a result, the method can reduce the process time by raising the temperature of the solution inside a chemical chamber uniformly and rapidly and rapidly deposit a thin film of high quality by uniformly providing the heat source on a substrate to be deposited.
Abstract translation: 本发明涉及使用电磁波制造复合薄膜太阳能电池的缓冲层的方法。 该方法通过使用电磁波的介电加热方法来沉积缓冲层,而不是使用作为常规化学沉积方法的热源供给方法的恒温室的转印方法。 结果,该方法可以通过在待沉积的基板上均匀地提供热源来均匀快速地提高化学室内的溶液的温度并快速且快速地沉积高质量的薄膜来缩短处理时间。
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5.인듐을 이용한 태양전지용 CZTS계 흡수층 박막, 이의 제조방법 및 이를 이용한 태양전지 有权
Title translation: 使用铟的太阳能电池用CZTS吸收层薄膜及其制造方法,以及使用其的太阳能电池公开(公告)号:KR1020170036631A
公开(公告)日:2017-04-03
申请号:KR1020160121560
申请日:2016-09-22
Applicant: 재단법인대구경북과학기술원
IPC: H01L31/18 , H01L31/0392 , H01L31/0236 , H01L31/0445
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/1864 , H01L31/02366 , H01L31/0392 , H01L31/0445
Abstract: 본발명은인듐을이용한태양전지용 CZTS계흡수층박막, 이의제조방법및 이를이용한태양전지에관한것으로, 본발명에따른인듐이첨가된 CZTS계박막태양전지는 (a) 기판위에후면전극층을형성하는단계; (b) 상기후면전극층위에구리(Cu), 아연(Zn), 주석(Sn) 및황(S); 또는구리(Cu), 아연(Zn), 주석(Sn) 및셀레늄(Se)을포함하는금속전구체를증착시켜금속전구체층을형성하는단계; (c) 상기금속전구체층위에인듐을주입하여인듐주입층을형성하는단계; 및 (d) 상기 (c) 단계가완료후, 불활성기체분위기하에서고온열처리하는단계를포함하여제조되며, 상기방법으로제조된인듐이첨가된 CZTS계박막태양전지는 CZTS계흡수층박막의표면이함몰된동종접합(buried-homojunction)을형성하여공핍층에서의재결합특성을감소시킴으로써태양전지의효율을향상시킬수 있는효과가있다.
Abstract translation: 本发明中,所述基于CZTS薄膜太阳能电池铟是按照本发明加入涉及一种太阳能基于CZTS细胞吸收层的薄膜,使用铟的制造方法,和使用其的太阳能电池是在衬底上形成底部电极的步骤(a) 。 (b)在后电极层上沉积铜(Cu),锌(Zn),锡(Sn)和硫(S) 或铜(Cu),锌(Zn),通过沉积包括锡(Sn),和硒(Se),以形成金属前驱体层的金属前体; (c)在金属前体层上注入铟以形成铟掺杂层; 和(d)步骤(c)随后完成,制备,包括高温热处理在惰性气体气氛中的步骤,CZTS系薄膜太阳能电池是通过将所述的凹陷表面的方法制备的铟CZTS基于吸收层的膜 的纯合通过(掩埋同质结)共减小耗尽层eseoui复合特性形成有可以提高太阳能电池的效率的效果。
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公开(公告)号:KR1020140139445A
公开(公告)日:2014-12-05
申请号:KR1020140139016
申请日:2014-10-15
Applicant: 재단법인대구경북과학기술원
IPC: H01L31/042 , H01L31/06 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/042 , H01L31/06 , H01L31/18
Abstract: 본 발명은 전자파를 사용하여 화합물 박막 태양전지용 버퍼층을 제조하는 방법에 관한 것으로, 종래의 화학조 침착법의 열원 공급 방법인 항온조를 통한 전달 방식 대신에 전자파의 유전 가열방식을 사용하여 버퍼층을 증착한다. 이를 통해 빠르고 균일하게 화학조 내부 용액 온도를 상승시켜 공정 시간을 단축하고, 증착하고자 하는 기판에 열원을 균일하게 공급함으로서 양질의 박막을 빠르게 증착할 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及使用电磁波制造复合薄膜太阳能电池的缓冲层的方法。 本发明使用电磁波的介电加热方法来沉积缓冲层,而不是使用作为常规化学浴沉积的供热方法的循环器式传热方法。 结果,本发明可以快速且均匀地提高化学浴中的溶液的温度,从而缩短处理时间,另外,可以均匀地向用于沉积的基板供给热量,从而快速沉积高品质薄膜 薄膜在基材上。
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公开(公告)号:KR101978040B1
公开(公告)日:2019-05-14
申请号:KR1020170096461
申请日:2017-07-28
Applicant: 재단법인대구경북과학기술원
IPC: C23C14/58 , C23C16/56 , H01L31/0445 , H01L31/0392 , H01L31/18
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公开(公告)号:KR101793640B1
公开(公告)日:2017-11-20
申请号:KR1020160121560
申请日:2016-09-22
Applicant: 재단법인대구경북과학기술원
IPC: H01L31/18 , H01L31/0392 , H01L31/0236 , H01L31/0445
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본발명은인듐을이용한태양전지용 CZTS계흡수층박막, 이의제조방법및 이를이용한태양전지에관한것으로, 본발명에따른인듐이첨가된 CZTS계박막태양전지는 (a) 기판위에후면전극층을형성하는단계; (b) 상기후면전극층위에구리(Cu), 아연(Zn), 주석(Sn) 및황(S); 또는구리(Cu), 아연(Zn), 주석(Sn) 및셀레늄(Se)을포함하는금속전구체를증착시켜금속전구체층을형성하는단계; (c) 상기금속전구체층위에인듐을주입하여인듐주입층을형성하는단계; 및 (d) 상기 (c) 단계가완료후, 불활성기체분위기하에서고온열처리하는단계를포함하여제조되며, 상기방법으로제조된인듐이첨가된 CZTS계박막태양전지는 CZTS계흡수층박막의표면이함몰된동종접합(buried-homojunction)을형성하여공핍층에서의재결합특성을감소시킴으로써태양전지의효율을향상시킬수 있는효과가있다.
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9.태양전지용 CZTS/CZTSe계 박막 및 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 CZTS/CZTSe계 박막 有权
Title translation: 基于CZTS / CZTSE的薄膜和基于CZTS / CZTSE的薄膜的制备方法公开(公告)号:KR1020160021967A
公开(公告)日:2016-02-29
申请号:KR1020140107167
申请日:2014-08-18
Applicant: 재단법인대구경북과학기술원
IPC: H01L31/0749 , H01L31/0392 , H01L31/024 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/0326 , H01L31/18 , H01L31/1864 , H01L31/1876 , Y02E10/541
Abstract: 본발명은 (a) Cu, Zn 및 Sn을동시진공증발법으로기판에증착하는단계; (b) 단계 (a)에서증착된박막에 S, Se 또는 S 및 Se을증착하는단계; 및 (c) 열처리단계를포함하는 CZTS/CZTSe계박막의제조방법에관한것으로, 본발명에의하는경우박막내의 Sn의소실을최소화하고, 열처리시 VI 족원소를별도를공급할필요가없으므로, 공정의비용이절감되는이점이있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造CZTS / CZTSe的薄膜的方法,包括以下步骤:(a)通过同时真空蒸发法在衬底上沉积Cu,Zn和Sn; (b)在步骤(a)中沉积的薄膜上沉积S,Se或S和Se; 和(c)进行热处理。 本发明使薄膜中Sn的损失最小化,并且不需要在热处理期间单独供应VI族元素,从而降低了工艺成本。
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公开(公告)号:KR1020150051151A
公开(公告)日:2015-05-11
申请号:KR1020140147345
申请日:2014-10-28
Applicant: 재단법인대구경북과학기술원
IPC: H01L31/0445 , H01L31/046 , H01L31/0272 , H01L31/0264
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/0445 , H01L31/0264 , H01L31/0272 , H01L31/046
Abstract: 본발명은 CZTS계태양전지용박막의제조방법으로서, (a) 기판을준비하는단계; (b) 기판위에구리전구체, 아연전구체, 주석전구체및 VI족원소의전구체를함유하는 CZTS계광흡수층전구체를증착하여전구체층을형성하는단계; 및 (c) 전구체층을열처리하여광흡수층을제조하는단계를포함하고, 상기열처리는 VI족원소의추가적인공급이없이진행되고, 열처리시열에너지가기판후면으로부터전구체층으로전달되도록하는방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种制备用于太阳能电池的CZTS薄膜的方法,更具体地涉及包括以下步骤的方法:(a)制备基板; (b)在基板上沉积含有铜前体,锌前体,锡前体和VI族元素的CZTS光吸收层前体,形成前体层; 和(c)热处理前体层并制造光吸收层,其中热处理在不额外供应VI族元素的情况下进行,热能在热处理期间从基底的后部转移到前体层 。
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