公开(公告)号：KR101293047B1

公开(公告)日：2013-08-05

申请号：KR1020110119603

申请日：2011-11-16

Applicant: 재단법인대구경북과학기술원

Inventor： 성시준 ,  김대환 ,  황대규 ,  강진규 ,  김찬 ,  홍성욱

IPC: H01L31/0445 ,  C23C14/34 ,  C23C14/14 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 본 발명은 본 발명은 CZT 기반 태양전지의 광흡수층용 금속 전구체 및 그 제조 방법, 그것을 포함하는 광흡수층 및 태양전지 등에 관한 것으로, Cu-Sn 동시 증착층을 포함하는 금속 전구체를 제조함으로써, Sn을 독자적으로 증착시 결정성장에 의한 금속 전구체 표면의 거칠기를 대폭 개선하여 광전변환효율이 향상된 태양전지를 제조할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020130053897A

公开(公告)日：2013-05-24

申请号：KR1020110119603

申请日：2011-11-16

Applicant: 재단법인대구경북과학기술원

Inventor： 성시준 ,  김대환 ,  황대규 ,  강진규 ,  김찬 ,  홍성욱

IPC: H01L31/0445 ,  C23C14/34 ,  C23C14/14 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/0445 ,  C23C14/14 ,  C23C14/34 ,  H01L31/18

Abstract: PURPOSE: A metallic precursor for a CZT-based solar cell and a manufacturing method thereof, a photo absorption layer and a solar cell including the same are provided to improve a deposition rate by using a metal target. CONSTITUTION: A glass substrate and molybdenum are coated on a substrate(100). A Cu-Zn deposition layer(200) is formed on the upper part of a substrate by using a sputtering method. A Zn layer(300) is deposited on the upper part of the Cu-Zn deposition layer. A deposition process is repeatedly performed on the Cu-Zn deposition.

Abstract translation: 目的：提供一种用于CZT的太阳能电池的金属前体及其制造方法，光吸收层和包含该金属前体的太阳能电池，以通过使用金属靶来提高沉积速率。 构成：将玻璃基板和钼涂覆在基板（100）上。 通过溅射法在衬底的上部形成Cu-Zn沉积层（200）。 Zn层（300）沉积在Cu-Zn沉积层的上部。 在Cu-Zn沉积上重复进行沉积工艺。