公开(公告)号：KR100540873B1

公开(公告)日：2006-01-12

申请号：KR1020030087978

申请日：2003-12-05

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 윤의준 ,  황희돈 ,  지앙진보 ,  김병주 ,  기봉

IPC: G01L1/24

Abstract: 평행광 어레이를 이용한 응력 측정 방법과 장치, 및 이 장치를 구비한 실시간 응력 측정 수평 반응기에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 응력 측정 방법에서는, 일정한 분리 간격을 가진 평행광 어레이를 박막 표면에 대해 20°이상 90° 미만의 입사각으로 입사시킨다. 그런 다음, 박막 표면에서 반사되어 나온 평행광 어레이 사이의 입사 방향에 수평인 방향으로의 간격 변화를 측정한다. 박막의 곡률 반경은 간격 변화의 함수이므로, 측정한 간격 변화로부터 박막의 곡률 반경을 알 수 있다. 박막의 응력은 박막의 곡률 반경을 이용하여 스토니 공식으로부터 계산할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020050054593A

公开(公告)日：2005-06-10

申请号：KR1020030087978

申请日：2003-12-05

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 윤의준 ,  황희돈 ,  지앙진보 ,  김병주 ,  기봉

IPC: G01L1/24

Abstract: 평행광 어레이를 이용한 응력 측정 방법과 장치, 및 이 장치를 구비한 실시간 응력 측정 수평 반응기에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 응력 측정 방법에서는, 일정한 분리 간격을 가진 평행광 어레이를 박막 표면에 대해 20°이상 90° 미만의 입사각으로 입사시킨다. 그런 다음, 박막 표면에서 반사되어 나온 평행광 어레이 사이의 입사 방향에 수평인 방향으로의 간격 변화를 측정한다. 박막의 곡률 반경은 간격 변화의 함수이므로, 측정한 간격 변화로부터 박막의 곡률 반경을 알 수 있다. 박막의 응력은 박막의 곡률 반경을 이용하여 스토니 공식으로부터 계산할 수 있다.