Abstract:
A method for forming an ink, and a patterning method by using the ink forming method are provided to improve resolution and to obtain a pattern having a thickness of nanometer scale. An ink is formed by using a solid part(110) acting as a reservoir; and a thin mobile layer(120) acting as a ink molecule from the bulk part of the inside of the solid part, wherein the molecule of the mobile layer becomes a surface fluid so as to be diffused by the melting of the ink molecule. Preferably the ink molecule has a melting point higher than or equal to the environment temperature. Preferably the ink molecule is a hydrophilic molecule, and the diffusion of the ink molecule is increased by adding impurities particles to the ink molecule.
Abstract:
평행광 어레이를 이용한 응력 측정 방법과 장치, 및 이 장치를 구비한 실시간 응력 측정 수평 반응기에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 응력 측정 방법에서는, 일정한 분리 간격을 가진 평행광 어레이를 박막 표면에 대해 20°이상 90° 미만의 입사각으로 입사시킨다. 그런 다음, 박막 표면에서 반사되어 나온 평행광 어레이 사이의 입사 방향에 수평인 방향으로의 간격 변화를 측정한다. 박막의 곡률 반경은 간격 변화의 함수이므로, 측정한 간격 변화로부터 박막의 곡률 반경을 알 수 있다. 박막의 응력은 박막의 곡률 반경을 이용하여 스토니 공식으로부터 계산할 수 있다.
Abstract:
평행광 어레이를 이용한 응력 측정 방법과 장치, 및 이 장치를 구비한 실시간 응력 측정 수평 반응기에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 응력 측정 방법에서는, 일정한 분리 간격을 가진 평행광 어레이를 박막 표면에 대해 20°이상 90° 미만의 입사각으로 입사시킨다. 그런 다음, 박막 표면에서 반사되어 나온 평행광 어레이 사이의 입사 방향에 수평인 방향으로의 간격 변화를 측정한다. 박막의 곡률 반경은 간격 변화의 함수이므로, 측정한 간격 변화로부터 박막의 곡률 반경을 알 수 있다. 박막의 응력은 박막의 곡률 반경을 이용하여 스토니 공식으로부터 계산할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 표면유체 원리를 이용한 잉크의 형성방법 및 그 응용에 관한 것으로, 나노미터 두께의 얇은 가동층의 분자들이 표면유체가 되도록 잉크를 형성하고, 이를 이용하여 나노 스케일의 프린팅에 응용할 수 있는 표면유체 원리를 이용한 잉크의 형성방법 및 이를 이용하여 패터닝하는 방법을 제공하는데 그 목적이 있다. 본 발명은 리저버 역할을 하는 고체부와 상기 고체부 내부의 벌크 부분으로부터 잉크 분자의 역할을 하는 얇은 가동층으로 이루어지고 상기 잉크 분자의 용융으로 가동층의 분자들이 표면유체가 되어 확산되는 잉크 형성방법을 제공한다. 표면유체 원리, 잉크, 나노, 프린팅, 패터닝