公开(公告)号：KR100712665B1

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：KR1020050042884

申请日：2005-05-23

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 조동일 ,  고형호 ,  박상준 ,  박용화 ,  임재상 ,  유광호 ,  이상민

IPC: B81B7/02

Abstract: 본 발명은 관성력 발생시 내부의 질량체와 검지전극 사이의 커패시턴스 변화를 검지하여 관성력을 검지하는 MEMS 소자의 민감도 및 오프셋을 조정하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 상기 장치 및 방법에 의하여 민감도 및 오프셋을 측정하고 조정할 수 있도록 고안된 관성력 검지용 MEMS 소자에 관한 것이다.
본 발명에 따른 장치 및 방법을 사용함으로써, 기존의 회전운동판 또는 진동판을 이용한 기계적 검사 절차를 생략하고, 전기적 신호만으로 상기 MEMS 소자의 관성력 검지 능력을 테스트하고, 출력치를 보정할 수 있다. 또한, 일반 반도체 칩의 시험 검사 장치를 그대로 이용할 수 있으며, 출력 오프셋 및 민감도의 조정에 소요되는 비용 및 시간을 크게 줄일 수 있다.

公开(公告)号：KR1020060120750A

公开(公告)日：2006-11-28

申请号：KR1020050042884

申请日：2005-05-23

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 조동일 ,  고형호 ,  박상준 ,  박용화 ,  임재상 ,  유광호 ,  이상민

IPC: B81B7/02

Abstract: An apparatus of calibrating sensitivity and offset of an MEMS device detecting inertial force and a method thereof are provided to test the inertial force detecting power of the device and compensate for the output value only with the electrical signal by containing the calibrating unit compensating for the sensitivity and offset. An apparatus(300) of calibrating sensitivity and offset of an MEMS device detecting inertial force for detecting the capacity change between an inner mass body and detection electrodes(140,141) and detecting the inertial force when the inertial force occurs is composed of an inertial force input signal generating unit(310) applying the inertial force input signal to inertial force input units(160,161) of the device; a capacity detecting unit(320) receiving the capacity change signal from the detecting electrode of the device and detecting the capacity change; a calibrating value calculating unit(330) calculating the calibrating value for calibrating the sensitivity and offset of the device from the output signal of the capacity detecting unit; a storage unit(340) saving the calibrating value; and a calibrating unit(350) using the calibrating value stored in the storage unit to compensate for the sensitivity and offset of the output signal of the capacity detecting unit.

Abstract translation: 提供校准检测惯性力的MEMS装置的灵敏度和偏移的装置及其方法，以测试装置的惯性力检测功率，并且仅通过包含补偿灵敏度的校准单元的电信号来补偿输出值 和偏移。 校准用于检测惯性力的MEMS装置的灵敏度和偏移的装置（300），用于检测内部质量体和检测电极（140,141）之间的容量变化，并且当发生惯性力时检测惯性力由惯性力输入 信号产生单元（310）将惯性力输入信号施加到装置的惯性力输入单元（160,161）; 容量检测单元，从所述装置的检测电极接收容量变化信号，并检测容量变化; 校准值计算单元（330），用于计算用于校准装置的灵敏度和偏移量与容量检测单元的输出信号的校准值; 存储单元（340），其保存所述校准值; 以及使用存储在存储单元中的校准值来补偿容量检测单元的输出信号的灵敏度和偏移的校准单元（350）。

公开(公告)号：KR1020060124267A

公开(公告)日：2006-12-05

申请号：KR1020050046096

申请日：2005-05-31

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 조동일 ,  박상준 ,  최병두

IPC: G01M1/10

Abstract: A flat type 3-axis inertia measurement system with an exact alignment are provided to simplify a packaging process, increase a yield, and minimize a size of a manufactured inertia sensor. A flat type 3-axis inertia measurement system with an exact alignment includes an x-axis accelerating system(100) for detecting a translation motion of the x-axis, a y-axis accelerating system for detecting a translation motion of the y-axis, and a z-axis accelerating system for detecting a rotation motion of the z-axis.

Abstract translation: 提供了具有精确对准的扁平型3轴惯性测量系统，以简化包装过程，提高产量，并使制造的惯性传感器的尺寸最小化。 具有精确对准的扁平型3轴惯性测量系统包括用于检测x轴的平移运动的x轴加速系统（100），用于检测y轴的平移运动的y轴加速系统 以及用于检测z轴的旋转运动的z轴加速系统。