公开(公告)号：KR100777404B1

公开(公告)日：2007-11-19

申请号：KR1020060043364

申请日：2006-05-15

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 조동일 ,  임근원 ,  박용화

IPC: G01P3/44

Abstract: 본 발명은 두 개의 가속도 센서를 이용한 각속도 측정방법 및 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 단결정 실리콘 MEMS(Microelectromechanical Systems) 기술로 제작된 2개의 x축 가속도 센서와 y축 가속도 센서를 이용하여 x축 가속도 및 y축 가속도 이외에 z축 각속도를 산출하는 것에 관한 것이다. 본 발명에서는 관성 센싱 장치의 x축 가속도와 y축 가속도를 측정할 뿐만 아니라 z축 각속도 센서를 사용하지 않고 가속도 센서만으로도 관성 센싱 장치의 z축 각속도를 산출할 수 있다. 이는 기존 장치에 비하여 부피가 작고 생산 원가가 낮은 장치를 구성할 수 있는 이점이 있다.
MEMS, 가속도 센서, 각속도 센서

公开(公告)号：KR1020070072319A

公开(公告)日：2007-07-04

申请号：KR1020060043364

申请日：2006-05-15

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 조동일 ,  임근원 ,  박용화

IPC: G01P3/44

CPC classification number: G01P3/44 ,  G01P3/4802 ,  G01P15/18

Abstract: An angular velocity measuring method using two angular velocity sensors and a device thereof are provided to reduce the volume and the cost by calculating the angular velocity of a z axis of an inertia sensing device only by an acceleration sensor without using a z-axis angular velocity sensor. An inertia sensing device having a rotating object is composed of an x-axis acceleration sensor unit positioned at the predetermined spot apart from the center of the rotating object to detect an x-axis acceleration signal; a y-axis acceleration sensor unit positioned at the predetermined spot apart from the center of the rotating object and disposed in a vertical direction to the x-axis acceleration sensor unit to detect an y-axis acceleration signal; and a z-axis angular velocity calculating unit calculating a z-axis angular velocity signal by using signals detected by the x and y-axis acceleration sensor units.

Abstract translation: 提供使用两个角速度传感器及其装置的角速度测量方法，通过仅使用加速度传感器计算惯性感测装置的z轴的角速度来减小体积和成本，而不使用z轴角速度传感器 。 具有旋转物体的惯性感测装置由位于与旋转物体的中心隔开的预定点处的x轴加速度传感器单元构成，以检测x轴加速度信号; y轴加速度传感器单元，其位于与旋转物体的中心隔开的预定点处，并且设置在与x轴加速度传感器单元垂直的方向上，以检测y轴加速度信号; 以及z轴角速度计算单元，通过使用由x轴加速度传感器单元和y轴加速度传感器单元检测出的信号来计算z轴角速度信号。

公开(公告)号：KR100712665B1

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：KR1020050042884

申请日：2005-05-23

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 조동일 ,  고형호 ,  박상준 ,  박용화 ,  임재상 ,  유광호 ,  이상민

IPC: B81B7/02

Abstract: 본 발명은 관성력 발생시 내부의 질량체와 검지전극 사이의 커패시턴스 변화를 검지하여 관성력을 검지하는 MEMS 소자의 민감도 및 오프셋을 조정하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 상기 장치 및 방법에 의하여 민감도 및 오프셋을 측정하고 조정할 수 있도록 고안된 관성력 검지용 MEMS 소자에 관한 것이다.
본 발명에 따른 장치 및 방법을 사용함으로써, 기존의 회전운동판 또는 진동판을 이용한 기계적 검사 절차를 생략하고, 전기적 신호만으로 상기 MEMS 소자의 관성력 검지 능력을 테스트하고, 출력치를 보정할 수 있다. 또한, 일반 반도체 칩의 시험 검사 장치를 그대로 이용할 수 있으며, 출력 오프셋 및 민감도의 조정에 소요되는 비용 및 시간을 크게 줄일 수 있다.

公开(公告)号：KR1020060120750A

公开(公告)日：2006-11-28

申请号：KR1020050042884

申请日：2005-05-23

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 조동일 ,  고형호 ,  박상준 ,  박용화 ,  임재상 ,  유광호 ,  이상민

IPC: B81B7/02

Abstract: An apparatus of calibrating sensitivity and offset of an MEMS device detecting inertial force and a method thereof are provided to test the inertial force detecting power of the device and compensate for the output value only with the electrical signal by containing the calibrating unit compensating for the sensitivity and offset. An apparatus(300) of calibrating sensitivity and offset of an MEMS device detecting inertial force for detecting the capacity change between an inner mass body and detection electrodes(140,141) and detecting the inertial force when the inertial force occurs is composed of an inertial force input signal generating unit(310) applying the inertial force input signal to inertial force input units(160,161) of the device; a capacity detecting unit(320) receiving the capacity change signal from the detecting electrode of the device and detecting the capacity change; a calibrating value calculating unit(330) calculating the calibrating value for calibrating the sensitivity and offset of the device from the output signal of the capacity detecting unit; a storage unit(340) saving the calibrating value; and a calibrating unit(350) using the calibrating value stored in the storage unit to compensate for the sensitivity and offset of the output signal of the capacity detecting unit.

Abstract translation: 提供校准检测惯性力的MEMS装置的灵敏度和偏移的装置及其方法，以测试装置的惯性力检测功率，并且仅通过包含补偿灵敏度的校准单元的电信号来补偿输出值 和偏移。 校准用于检测惯性力的MEMS装置的灵敏度和偏移的装置（300），用于检测内部质量体和检测电极（140,141）之间的容量变化，并且当发生惯性力时检测惯性力由惯性力输入 信号产生单元（310）将惯性力输入信号施加到装置的惯性力输入单元（160,161）; 容量检测单元，从所述装置的检测电极接收容量变化信号，并检测容量变化; 校准值计算单元（330），用于计算用于校准装置的灵敏度和偏移量与容量检测单元的输出信号的校准值; 存储单元（340），其保存所述校准值; 以及使用存储在存储单元中的校准值来补偿容量检测单元的输出信号的灵敏度和偏移的校准单元（350）。