公开(公告)号：KR101421721B1

公开(公告)日：2014-07-22

申请号：KR1020070097707

申请日：2007-09-28

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단 ,  삼성전자주식회사

Inventor： 박윤

IPC: B82B1/00 ,  H01L21/20 ,  C01B31/02 ,  C23C14/34

Abstract: 본 발명은 CNTnt 상에 형성된 금속 박막을 가지는 독립한 금속성 마이크로메카니컬 구조의 제조방법 및 그 방법에 의한 구조에 관한 것으로, 보다 상세하게는 탄소 나노튜브 네트워크 템플릿(carbon nanotube network template; CNTnt) 상에 Al의 박막(thin film) 증착에 의해 형성된 이중층 라미네이트(bilayer laminate)로부터 현수되는 이중 고정보(suspended doubly-clamped beams)를 실현할, CNTnt 상에 형성된 금속 박막을 가지는 독립한 금속성 마이크로메카니컬 구조의 제조방법 및 그 방법에 의한 구조제조 방법을 제시한다.
CNT, CNTnt, 탄성계수, 박막, 나노튜브

公开(公告)号：KR1020090032437A

公开(公告)日：2009-04-01

申请号：KR1020070097693

申请日：2007-09-28

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단 ,  삼성전자주식회사

Inventor： 박윤

IPC: H01L41/08 ,  B82Y40/00

Abstract: A free-standing metallic micromechanical structure with a metal thin film formed on CNTnt and a resonator structure using thereof are provided to have the coefficient of the zero more than two times by utilizing CNTnt. The predetermined metal is laminated on the surface of epi-ready semi insulator GaAs substrate with the constant thickness. The deposition process is controlled by the sputtering deposition mode. The substrate is left in the 0.1 mg/ml solution of single wall carbon nanotube having the fixed length of 2~3mum, and the o-dichlorobenzene solvent under the room temperature. The substrate is removed from the solution. Sample is dried in the liquid nitrogen. The dual layered laminate structure having the metallic foil of the constant thickness is formed in CNTnt. The magnetic assembly of the CNT(carbon nano tube) is laminated on the metal thin film layer.

Abstract translation: 提供了一种在CNTnt上形成的具有金属薄膜的独立的金属微机械结构和使用其的谐振器结构，以通过利用CNTnt使零系数超过两次。 将预定的金属层压在具有恒定厚度的外延半导体GaAs衬底的表面上。 沉积工艺由溅射沉积模式控制。 将底物留置在固定长度为2-3μm的单壁碳纳米管和室温下的邻二氯苯溶剂的0.1mg / ml溶液中。 从溶液中除去底物。 样品在液氮中干燥。 具有恒定厚度的金属箔的双层叠层结构体形成在CNTnt中。 CNT（碳纳米管）的磁性组件层压在金属薄膜层上。

公开(公告)号：KR100911090B1

公开(公告)日：2009-08-06

申请号：KR1020080008384

申请日：2008-01-28

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 김기훈 ,  박윤 ,  김형준 ,  김재욱 ,  서기성

IPC: G01N25/20 ,  G01N25/00 ,  B82Y35/00

Abstract: 본 발명은 나노전자기계시스템 (NEMS) 처리 기술에 의해 구현되는 실리콘 니트라이드 박막 플랫폼 기반의 새로운 디자인을 가진 정확도가 향상된 마이크로칼로리미터 소자에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 본 발명은 극미세물질의 비열측정장치를 위한 실리콘니트라이드 박막형 마이크로칼로리미터 소자에 관한 것으로, 특히 20 K 내지 800 K의 넓은 온도 구간에서 미세시료의 비열측정이 가능한 정확도가 향상된 마이크로칼로리미터 소자에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은 양면 연마된 실리콘 프레임(11a,11b)의 상면에 제 1실리콘니트라이드 박막(12a,12b)을 포함하고, 하면에는 제2실리콘니트라이드 박막(13)을 포함하되, 상기 제2실리콘니트라이드 박막(13)의 하면에는 전기인출선과 체결되는 히터/센서(14a, 14b)를 포함하고 그 상면에는 등온층(15)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 정확도가 향상된 마이크로칼로리미터 소자를 제시한다.
본 발명은 센서 및 히터에 대한 전기인출선(electrical leads)의 구조를 조절함으로써, 비열 측정 시 불필요한 열전도성 열손실을 줄여 20 K에서 800 K 에 이르는 넓은 온도 범위에 대해 전형적으로 5% 미만의 절대적 비열 측정 정확도를 제공할 수 있는 새로운 형태의 정확도가 향상된 마이크로칼로리미터 소자 구조를 제시한다.
마이크로칼로리미터, 비열, 열용량, 고온구동, 멤브레인, 실리콘니트라이드

公开(公告)号：KR1020090082563A

公开(公告)日：2009-07-31

申请号：KR1020080008384

申请日：2008-01-28

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 김기훈 ,  박윤 ,  김형준 ,  김재욱 ,  서기성

IPC: G01N25/20 ,  G01N25/00 ,  B82Y35/00

CPC classification number: G01K17/006 ,  B82Y35/00 ,  G01N25/20

Abstract: A micro calorimeter device with enhanced accuracy is provided to measure the minute heat capacity of 10-6J/K accurately to material having various micrometer and nano sizes within temperature range of 20K~800K. A micro calorimeter device with enhanced accuracy comprises a first silicon nitride thin film(12a,12b), second silicon nitride thin film(13), heater/sensor(14a,14b), and an isothermal layer(15). The first silicon nitride thin film is equipped at the upper side of a duplex-grinded silicon frame(11a,11b). The second silicon nitride thin film is equipped at the lower-part. The heater/sensor is connected to an electricity leader line on the lower surface of the second silicon nitride thin film.

Abstract translation: 提供了一种精度更高的微量热计装置，可以在20K〜800K的温度范围内对具有各种微米和纳米尺寸的材料精确测量10-6J / K的分热容量。 具有增强的精度的微量热计装置包括第一氮化硅薄膜（12a，12b），第二氮化硅薄膜（13），加热器/传感器（14a，14b）和等温层（15）。 第一氮化硅薄膜配置在双面研磨硅框架（11a，11b）的上侧。 第二氮化硅薄膜装配在下部。 加热器/传感器连接到第二氮化硅薄膜的下表面上的电引线。

公开(公告)号：KR101399793B1

公开(公告)日：2014-05-26

申请号：KR1020070097693

申请日：2007-09-28

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단 ,  삼성전자주식회사

Inventor： 박윤

IPC: H01L41/08 ,  B82Y40/00

Abstract: 본 발명은 CNTnt 상에 형성된 일정한 금속박막을 가지는 독립한 금속성 마이크로메카니컬 구조 및 이를 이용한 공진기 구조에 관한 것으로, 이를 위하여 소정의 두께를 가지되 바람직하게는 0.41 nm 이하의 두께를 갖는 CNTnt 상에 금속 박막으로써 바람직하게는 Al 박막이 소정의 두께를 가지되 바람직하게는 50 - 100 nm 증착된 이중층 라미네이트를 포함하는 CNTnt 상에 형성된 일정한 금속박막을 가지는 독립한 금속성 마이크로메카니컬 구조를 제시한다.
또한, 본 발명은 CNTnt 상에 형성된 일정한 금속박막을 가지는 독립한 금속성 마이크로메카니컬 구조를 이용한 공진기 구조에 관한 것으로, 이를 위하여 소정의 폭과 소정의 길이를 가지되, 바람직하게는 2~3㎛ 의 폭과 5~50㎛ 의 길이를 갖는 현수된 이중 고정보 마이크로공진기(suspended doubly-clamped beam microresonators) 구조를 제시한다.
CNT, CNTnt,탄성계수,박막,나노튜브

公开(公告)号：KR1020090032449A

公开(公告)日：2009-04-01

申请号：KR1020070097707

申请日：2007-09-28

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단 ,  삼성전자주식회사

Inventor： 박윤

IPC: B82B1/00 ,  H01L21/20 ,  C01B31/02 ,  C23C14/34

CPC classification number: B82B1/005 ,  C01B32/158 ,  C23C14/34 ,  H01L21/2003

Abstract: A method for fabricating a free-standing metallic micromechanical structure with a metal thin film formed on CNTnt(carbon nanotube network template) is provided to maintain high basic resonance frequency about a geometric structure given by dynamic bending measurement and notify a bifurcation sign about Al/CNTnt. A method for fabricating a free-standing metallic micromechanical structure with a metal thin film formed on CNTnt(carbon nanotube network template) comprises the following steps: forming CNTnt on a semiconductor board; forming a pattern having a double-beam shape on the CNTnt; depositing metallic foil on the CNTnt; exfoliating the metallic foil from the CNTnt; forming suspended doubly-clamped beams; and forming an counter electrode through a metal deposition process. The semiconductor board represents a GaAs board. The CNTnt is characterized by being formed through CNTnt self assembly.

Abstract translation: 提供了一种用于制造在CNTnt（碳纳米管网络模板）上形成的金属薄膜的独立金属微机械结构的方法，以维持关于由动态弯曲测量给出的几何结构的高基本共振频率，并通知关于Al / CNTnt。 制造具有在CNTnt（碳纳米管网络模板）上形成的金属薄膜的独立金属微机械结构的方法包括以下步骤：在半导体板上形成CNTnt; 在CNTnt上形成具有双光束形状的图案; 在CNTnt上沉积金属箔; 从CNTnt剥离金属箔; 形成悬挂双夹紧梁; 并通过金属沉积工艺形成对电极。 半导体板代表GaAs板。 CNTnt的特征在于通过CNTnt自组装形成。