씨아이지에스 박막의 제조방법
    3.
    发明授权
    씨아이지에스 박막의 제조방법 有权
    制造CIGS薄膜的方法

    公开(公告)号:KR101532139B1

    公开(公告)日:2015-06-30

    申请号:KR1020130109655

    申请日:2013-09-12

    CPC classification number: Y02E10/50 Y02P70/521

    Abstract: 박막태양전지를구성하는 CIGS 박막의제조방법이개시된다. 하이레벨과로우레벨이반복적으로인가되는펄스열 형태의전압의인가와열처리를통해 CIGS 박막은형성될수 있다. 하이레벨을가진전압의인가에따라 Se 이온또는 Cu 이온이전착되고, 로우레벨을가지는전압의인가에따라 Ga 이온및 In 이온이전착된다. 또한, 작업전극에인가되는전압은 3단계의레벨을가진스텝펄스의형태로인가될수 있다. 이를통해빠른공정시간내에 CIGS 박막의형성이이루어질수 있다.

    씨아이지에스 박막의 제조방법
    4.
    发明公开
    씨아이지에스 박막의 제조방법 有权
    制造CIGS薄膜的方法

    公开(公告)号:KR1020150030813A

    公开(公告)日:2015-03-23

    申请号:KR1020130109655

    申请日:2013-09-12

    CPC classification number: Y02E10/50 Y02P70/521 H01L31/18 H01L31/04

    Abstract: 박막태양전지를구성하는 CIGS 박막의제조방법이개시된다. 하이레벨과로우레벨이반복적으로인가되는펄스열 형태의전압의인가와열처리를통해 CIGS 박막은형성될수 있다. 하이레벨을가진전압의인가에따라 Se 이온또는 Cu 이온이전착되고, 로우레벨을가지는전압의인가에따라 Ga 이온및 In 이온이전착된다. 또한, 작업전극에인가되는전압은 3단계의레벨을가진스텝펄스의형태로인가될수 있다. 이를통해빠른공정시간내에 CIGS 박막의형성이이루어질수 있다.

    Abstract translation: 公开了一种制造包括薄膜太阳能电池的CIGS薄膜的方法。 通过进行热处理并施加重复施加高电平和低电平的脉冲串类型的电压来形成CIGS薄膜。 通过施加高电平的电压来沉积Se或Cu离子。 Ga和In离子通过施加低电平的电压进行电沉积。 此外,施加到工作电极的电压以三级电平的阶跃脉冲施加。 因此,GIGS薄膜在快速处理时间内形成。

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