Abstract:
P형 산화아연 박막의 제조방법을 제공한다. 스퍼터링(sputtering)법을 이용하여 P형 산화아연 박막을 제조하는 방법에 있어서, 상기 방법은 챔버내에 기판과 Ⅲ족 원소가 도핑되어 있는 산화아연(ZnO) 타겟을 제공하는 단계, 상기 챔버내에 스퍼터 가스로서 아산화질소(N 2 O) 가스를 제공하는 단계 및 상기 아산화질소(N 2 O) 가스를 상기 타겟과 충돌시켜 상기 기판상에 상기 Ⅲ족 원소와 질소(N)가 함께 도핑된 P형의 산화아연 박막을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명은 갈륨(Ga)과 질소(N)의 코도핑을 이용함으로써 결정성 및 전기적 특성이 우수한 P형 산화아연 박막을 제조할 수 있는 이점을 제공한다. 또한, 시간에 따른 전기적 특성이 저하되지 않는 안정적인 P형 특성을 보여주는 산화아연 박막을 제조할 수 있는 효과를 제공한다. P형 산화아연(ZnO), 스퍼터링(Sputtering), 갈륨(Ga)
Abstract:
A method for manufacturing a P-type zinc oxide thin film by co-doping III-group element and nitrogen is provided to improve crystallization and electric performance favorably and to co-dope the III-group element and the nitrogen with stable P-type characteristics. A method for manufacturing a P-type zinc oxide thin film by co-doping III-group element and a nitrogen includes a step of providing a substrate and a zinc oxide target which is coped by the III-group element to an inside of a chamber; a step of providing nitrous oxide gas to the inside of the chamber as sputtering gas; and a step of plating the P-type zinc oxide thin film doped by the III-group element and the nitrogen, on the substrate by contacting the nitrous oxide gas with the zinc oxide target. The substrate is formed by aluminum oxide or silicon. The temperature of the substrate is in a range of 400~700 degrees.
Abstract:
본 발명은 페니바실러스 일리노이센시스 KJA-424( Paenibacillus illinoisensis KJA-424) KACC 91109가 생산하는 키티나아제 및 상기 미생물 또는 키티나아제를 이용한 고추 등 역병 예방 및 치료용 조성물에 관한 것이다. 페니바실러스 일리노이센시스 KJA-424 및 그 배양에 의해 얻어지는 키티나아제는 병원균인 파이토프소라 캡사이시에 대한 길항 및 저해 작용을 나타내어 고추 등 역병을 효과적으로 예방·치료할 수 있다. 페니바실러스 일리노이센시스, 키티나아제, 파이토프소라 캡사이시, 고추 역병