광소자 패키지용 윈도우 마운팅 지그 및 그를 이용한윈도우 구조 제조방법
    1.
    发明授权
    광소자 패키지용 윈도우 마운팅 지그 및 그를 이용한윈도우 구조 제조방법 失效
    用于光学器件封装的窗户安装夹具及使用其的窗口结构的制造方法

    公开(公告)号:KR100511471B1

    公开(公告)日:2005-08-31

    申请号:KR1020030066018

    申请日:2003-09-23

    Abstract: 본 발명은 광소자 패키지용 윈도우 마운팅 지그 및 그를 이용한 윈도우 구조 제조방법에 관한 것으로, 복수개의 개구들이 형성된 가이드판과, 상기 가이드판의 저면에 접착된 마운팅 테이프로 구성된 광소자 패키지용 윈도우 마운팅 지그를 준비하는 제 1 단계와; 상기 윈도우 마운팅 지그의 개구들 각각에 투명 디스크들을 삽입시켜, 상기 투명 디스크들을 마운팅 테이프에 접착시키는 제 2 단계와; 상기 윈도우 마운팅 지그와 투명 디스크들의 상부에 금속층을 형성하는 제 3 단계와; 상기 각각의 투명 디스크들의 상부 내측면에서 상기 각각의 투명 디스크들의 상부 외측면까지의 금속층 상부에 포토레지스트 패턴을 형성하는 제 4 단계와;상기 포토레지스트 패턴으로 마스킹하여 상기 금속층을 제거하고, 상기 포토레지스트 패턴을 제거하는 제 5 단계와; 상기 투명 디스크들을 마운팅 테이프로부터 이탈시키는 제 6 단계로 구성된다.
    따라서, 본 발명의 광소자 패키지에 장착되는 윈도우 구조는 광소자 패키지에 접착되는 강도와 기밀도(Hermeticity)를 우수히 할 수 있고, 제조된 윈도우 구조의 패턴 치수 정밀도 및 선명도를 우수히 할 수 있는 효과가 발생한다.

    광소자 패키지용 윈도우 마운팅 지그 및 그를 이용한윈도우 구조 제조방법
    2.
    发明公开
    광소자 패키지용 윈도우 마운팅 지그 및 그를 이용한윈도우 구조 제조방법 失效
    用于光学设备包装的窗户安装夹具及使用其制造窗户结构的方法

    公开(公告)号:KR1020050029808A

    公开(公告)日:2005-03-29

    申请号:KR1020030066018

    申请日:2003-09-23

    Abstract: A window mounting jig for an optic device package and a method for manufacturing the window structure using the same are provided to know the adhesion intensity and the hermeticity of the optic device package by forming the window structure. A window mounting jig for an optic device package includes a guide plate, a mounting tape, a pair of metal layers(152,155), a pair of transparent disks(121,122), and a photoresist pattern(160). The guide plate is provided with a plurality of apertures to insert the transparent disks(121,122) of the optic device package window structure. The mounting tape is attached to the bottom surface of the guide plate.

    Abstract translation: 提供了一种用于光学器件封装的窗户安装夹具和使用其的窗户结构的制造方法,以通过形成窗户结构来了解光学器件封装的粘附强度和密封性。 用于光学器件封装的窗户安装夹具包括引导板,安装带,一对金属层(152,155),一对透明盘(121,122)和光致抗蚀剂图案(160)。 引导板设置有多个孔以插入光学器件封装窗口结构的透明盘(121,122)。 安装带安装在导板的底面上。

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