公开(公告)号：KR1020100082512A

公开(公告)日：2010-07-19

申请号：KR1020090001849

申请日：2009-01-09

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 최향희 ,  김성동 ,  김창호 ,  박준식 ,  이민호 ,  박광범 ,  최광용

IPC: G01N27/12 ,  B82Y15/00

Abstract: PURPOSE: A gas sensor and a method of manufacture thereof is provided to manufacture a gas sensor having fast response speed and high reproducibility. CONSTITUTION: A gas sensor comprises an insulating layer(120), a restored metal sensitizer(130), a source electrode(140) and a drain electrode(150). The insulating layer is formed on a substrate(110). The metal sensitizer comprises metal and the restored carbon nanotube. The restored metal is formed on the insulating layer and senses gas. The substrate is composed of the silicon substrate. The insulating layer comprises the silicon oxide film.

Abstract translation: 目的：提供气体传感器及其制造方法，以制造具有快速响应速度和高再现性的气体传感器。 构成：气体传感器包括绝缘层（120），恢复的金属敏化剂（130），源电极（140）和漏电极（150）。 绝缘层形成在基板（110）上。 金属敏化剂包括金属和还原的碳纳米管。 恢复的金属形成在绝缘层上并感测气体。 基板由硅基板构成。 绝缘层包括氧化硅膜。

公开(公告)号：KR1020110100361A

公开(公告)日：2011-09-14

申请号：KR1020100019278

申请日：2010-03-04

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 최향희 ,  김성동 ,  김인호 ,  박준식

IPC: G01N27/407 ,  G01N27/12 ,  G08B21/14

Abstract: 본 발명은 유해 가스 검지 센서 및 경보 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 건물 내 혹은 주차장과 같은 제한적인 내에서 자동차 등에 의해 발생되는 유해가스를 검지하기 위한 센서와 경보 장치에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명의 가스 검출 센서는 탄소나노튜브, 상기 탄소나노튜브에 리간드되어 있는 금속물질을 포함하며, 흡착되는 가스의 농도에 따라 저항이 가변하는 탐지부, 상기 탐지부에서 탐지한 가스 농도에 따른 저항값을 전류 또는 전압으로 변환하는 출력하는 출력부, 상기 탐지부에서 탐지한 가스 농도와 설정되어 있는 가스 농도를 비교하여 경고 신호 발생 여부를 결정하는 제어부, 상기 제어부에 제어 명령에 따라 상기 경고 신호를 출력하는 경보부를 포함한다.