公开(公告)号：KR101777047B1

公开(公告)日：2017-09-11

申请号：KR1020160047141

申请日：2016-04-18

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 유신재 ,  김대웅 ,  이장재 ,  김시준

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/3211 ,  H01J37/32155 ,  H01J37/32541 ,  H05H2001/466

Abstract: 본발명의축전결합플라즈마용전극을제공한다. 이축전결합플라즈마용전극은 RF 전력을공급받은디스크형상의중심전극; 상기중심전극과이격되고상기중심전극의배치평면에서상기중심전극과동일한중심축을가지는링 형상을가지는적어도하나의보조전극; 및상기중심전극의배치평면에서상기중심전극과상기보조전극을연결하는중심전극연결부; 를포함한다.

公开(公告)号：KR1020170069652A

公开(公告)日：2017-06-21

申请号：KR1020150177126

申请日：2015-12-11

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 유신재 ,  김정형 ,  김대웅 ,  성대진

IPC: H05H1/00 ,  H01J37/32

Abstract: 본발명은초고주파플라즈마진단장치를제공한다. 이초고주파플라즈마진단장치는전기적으로접지되고도전체로형성된안테나몸체부; 도전체로형성되고외부로부터가변초고주파를제공받아상기가변초고주파를플라즈마에방사하고상기안테나몸체부를관통하여배치되는송신안테나코어; 절연체로형성되고상기안테나몸체부에매설되고상기송신안테나코어를감싸도록배치되는송신안테나절연튜브; 절연체로형성되고상기송신안테나코어와동축상에서상기안테나몸체부의일면에링 형상으로매설된수신안테나절연링; 도전체로형성되고상기플라즈마를통과하여수신된가변초고주파신호를수신하고상기수신안테나절연링에매설된수신안테나도전링;을포함한다. 상기송신안테나코어의일단및 상기수신안테나도전링의일면은외부로노출된다.

Abstract translation: 本发明提供了一种微波等离子体诊断设备。 第二高频等离子体诊断设备包括：整体电接地形成的天线主体部分; 发射天线芯，其形成为导体并且设置有从外部辐射的可变高频波，以将可变高频波辐射到等离子体中并穿过天线主体部分; 发射天线隔离管，其由绝缘体形成并嵌入天线主体部分中并被布置成围绕发射天线核心; 一种接收天线隔离环，其由绝缘体形成并且在天线体的与发射天线核心同轴的一个表面上埋入环形中; 接收天线导电环形成为导体并接收通过等离子体接收的可变高频信号并嵌入接收天线隔离环中。 发射天线核心的一端和接收天线导电环的一侧暴露于外部。