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公开(公告)号：KR101955370B1
公开(公告)日：2019-03-07
申请号：KR1020170136677
申请日：2017-10-20
Applicant: 충남대학교산학협력단
Inventor： 홍순구 , 홍순익 , 이정국 , 르뒤덕 , 고시찹
IPC: C22C29/00 , C23C14/34 , C23C14/06 , C23C14/58 , C23C14/00
公开(公告)号：KR102012809B1
公开(公告)日：2019-08-21
申请号：KR1020190040362
申请日：2019-04-05
Inventor： 홍순구 , 고시찹 , 르뒤덕 , 이정국
IPC: G01N21/95 , G01B11/22 , G02B21/00 , H01L21/66 , G01N21/88
公开(公告)号：KR101965368B1
公开(公告)日：2019-04-03
申请号：KR1020170125325
申请日：2017-09-27
Inventor： 홍순구 , 르뒤덕
IPC: C30B25/18 , C30B25/10 , C23C14/34 , C23C14/06 , H01L21/02
