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公开(公告)号：KR100490472B1
公开(公告)日：2005-05-19
申请号：KR1020020031444
申请日：2002-06-04
Applicant: 충남대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 열 화학 기상 증착법에 의한 탄소 나노튜브 합성시 촉매금속으로서 자성유체를 사용하고, 촉매금속의 나노 사이즈가 제어되도록 하고, 촉매금속이 기판에 균일하게 도포되도록 하고, 바인더 등의 희석제와 동시에 사용해 밀도를 조절하고 또한 촉매금속을 박막증착에 의하지 않고 도포하는 방법에 의해 다량의 기판을 동시에 제공하며, 탄소 나노튜브의 합성이 배치공정과 연속공정으로 수행되도록 한 자성유체를 이용한 탄소 나노튜브의 합성방법에 관한 것이다. 본 발명에 의 해 열 화학 기상 증착법에 의한 탄소 나노튜브 합성에 있어서 박막증착의 경우처럼 선행공정으로 열처리 과정을 수행할 필요가 없고, 별도의 촉매금속 증착장치가 불필요하므로 저가의 나노 사이즈의 촉매금속을 다량 제조할 수 있다. 또한 성장되는 탄소 나노튜브의 분포와 밀도를 제어할 수 있으며, 동일한 품질의 균일한 탄소 나노튜브의 성장이 가능하고, 탄소 나노튜브의 품질이 우수하다. 또한 생산율이 높고 설비투자가 저렴하여 저가 및 대량생산에 유리하다.
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公开(公告)号：KR1020030094490A
公开(公告)日：2003-12-12
申请号：KR1020020031445
申请日：2002-06-04
Applicant: 충남대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A method is provided to prevent a leakage current and damages of carbon nanotube by coating the carbon nanotube with an insulating material. CONSTITUTION: A method comprises a step of forming a trench structure on a substrate through the use of a semiconductor process; a step of growing a carbon nanotube in the trench structure; a step of coating the substrate on which the carbon nanotube has grown with an insulating material; a step of drying the coated insulating material; and a step of planing the insulating material by using a lapping machine in such a manner that the thin film of the substrate is exposed.
Abstract translation: 目的：提供一种通过用绝缘材料涂覆碳纳米管来防止漏电流和碳纳米管损坏的方法。 构成：一种方法包括通过使用半导体工艺在衬底上形成沟槽结构的步骤; 在沟槽结构中生长碳纳米管的步骤; 用绝缘材料涂覆其上生长碳纳米管的基板的步骤; 干燥被覆绝缘材料的步骤; 以及通过使用研磨机以使得基板的薄膜露出的方式刨削绝缘材料的步骤。
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公开(公告)号：KR100490480B1
公开(公告)日：2005-05-17
申请号：KR1020020031445
申请日：2002-06-04
Applicant: 충남대학교산학협력단
Abstract: 본 발명에서는 탄소 나노튜브를 이용한 3극관 구조의 전계 방출 소자의 제작에 있어서, 반도체 공정을 이용해 기판에서 탄소 나노튜브를 성장키고, 탄소 나노튜브가 성장된 기판에 절연물질 특히 SOG(Spin on glass)를 도포하여 건조시키며,절연물질이 도포된 탄소 나노튜브를 연마기로 균일한 높이를 갖도록 절단하여 탄소 나노튜브의 높이를 제어하는 방법에 의한 탄소 나노튜브를 이용한 전계 방출 소자 제조방법이 개시된다. 본 발명에 의해 탄소 나노튜브와 기판과의 절연을 가능하게 함으로써 누설전류를 방지하며, 연마공정시 탄소 나노튜브의 손상을 막고, 탄소 나노튜브와 기판과의 밀착성을 유지하고, 전계 방출 측정시 안정성을 향상시킨다. 또한 탄소 나노튜브의 성장시 길이의 제어를 용이하게 하여 균일한 전계 방출 특성을 구현하고 공정의 편의성을 달성한다.
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公开(公告)号：KR1020030093666A
公开(公告)日：2003-12-11
申请号：KR1020020031444
申请日：2002-06-04
Applicant: 충남대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A method for synthesizing a carbon nano-tube using ferrofluid is provided to reduce the manufacturing cost, to obtain the uniform carbon nano-tubes having the same quality, and to improve the product quality and productivity. CONSTITUTION: The method for synthesizing a carbon nano-tube by thermo-chemical vapor deposition using a ferrofluid is characterized by comprising the steps of: forming a metal catalyst using a ferrofluid; coating the metal catalyst on a substrate; and synthesizing the carbon nano-tube. The method has no need of a heat treatment step as a pre-treatment. More particularly, the step of forming a metal catalyst optionally further comprises the step of introducing a binder into the metal catalyst. Further, the ferrofluid is made from iron chlorides.
Abstract translation: 目的：提供使用铁磁流体合成碳纳米管的方法，以降低制造成本，获得具有相同质量的均匀碳纳米管，并提高产品质量和生产率。 构成：使用铁磁流体通过热化学气相沉积合成碳纳米管的方法的特征在于包括以下步骤：使用铁磁流体形成金属催化剂; 将金属催化剂涂覆在基材上; 并合成碳纳米管。 该方法不需要作为预处理的热处理步骤。 更具体地，形成金属催化剂的步骤可选地进一步包括将粘合剂引入金属催化剂的步骤。 此外，铁磁流体由氯化铁制成。
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