公开(公告)号：KR1020020047332A

公开(公告)日：2002-06-21

申请号：KR1020027005775

申请日：2000-10-12

Applicant: 코닝 인코포레이티드

Inventor： 브라운,존,티. ,  퓨,지아오동 ,  미스라,마헨드라,케이 ,  쿠안,프레데릭,제이.-와이.

IPC: G01N21/71

Abstract: 본 발명은 기판상에 증착되는 수트(soot)상에 존재하는 적어도 하나의 조성물의 성분을 결정하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 상기 방법은 상기 기판을 향해 에너지 펄스를 보내는 단계; 상기 기판상의 예정된 지점과 상기 에너지를 포커싱(focusing)하여 상기 기판상에 플라즈마(plasma)를 발생시키고 적어도 하나의 광양자를 생성시키는 단계; 분석 소자를 이용하여 상기 광양자를 검출하는 단계; 및 수트내에 존재하는 상기 조성물을 확인하는 단계를 포함한다. 또한, 상기 방법은 상기 조성물의 농도를 결정하는 단계를 포함한다. 더욱이, 상기 방법은 버너의 화염 또는 반응물 스트림내의 적어도 하나의 반응물의 성분 및 농도를 결정하기 위해 사용될 수 있다.

公开(公告)号：KR1020030097783A

公开(公告)日：2003-12-31

申请号：KR1020037003478

申请日：2001-07-24

Applicant: 코닝 인코포레이티드

Inventor： 브라운,존,티. ,  커리,스테판,씨. ,  무어,리사,에이. ,  파브릭,로버트,에스.주니어 ,  샤이펠베인,수잔,엘.

IPC: G03F7/004

公开(公告)号：KR1020030004378A

公开(公告)日：2003-01-14

申请号：KR1020027014535

申请日：2001-04-17

Applicant: 코닝 인코포레이티드

Inventor： 브라운,존,티. ,  버크,제랄드,이. ,  챠콘,리사,씨. ,  도우스,스티븐,비. ,  앨리슨,아담,제이. ,  하우토프,다니엘,더블유. ,  루피노,안쏘니,피. ,  스리칸트,브이. ,  탄돈,푸쉬카 ,  텐넨트,크리스틴,엘. ,  테렐,제임스,피.,주니어. ,  홀렌요셉,엠.

IPC: C03B37/018

CPC classification number: G03F7/70216 ,  C03B19/1407 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B37/01202 ,  C03B37/01406 ,  C03B37/01413 ,  C03B37/0142 ,  C03B37/0146 ,  C03B2201/12 ,  C03B2203/22 ,  C03B2207/02 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/08 ,  C03B2207/14 ,  C03B2207/20 ,  C03B2207/30 ,  C03B2207/38 ,  C03B2207/40 ,  C03B2207/42 ,  C03B2207/46 ,  C03B2207/54 ,  C03B2207/70 ,  C03B2207/81 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/20 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/32 ,  F23D14/22 ,  F23D14/32 ,  G03F1/60 ,  G03F7/70958

Abstract: 본 발명은 대기로부터 반응 제품으로서 물을 제거하고, 이송 과정에서 물을 제거하거나, 또는 그들의 조합으로 무수 용융 실리카 프리폼 또는 글라스를 제조하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 무수 수트, 프리폼 또는 글라스는 적층과정에서 카본 모노사이드와 같이 무수소 연료를 이용하여 얻게 된다. 선택적으로, 수트 형성 버너는 무수소 연료로 작동될 수 있도록 하는 변수를 갖는다. 또한, 물의 생성을 최소화시키는 엔드 버너가 게시되어 있다. 이러한 무수법은 플루오린 도프 수트를 효과적으로 적층하는데 있어서 유용하다. 도판트의 이동을 최소화하기 위한 유리 차단층법과 장치도 개시되어 있으며, 특히 차단층을 형성하기 위한 플루오린 및 레이저 및 유도 방법과 장치도 개시되어 있다. 클로로플루오로실란과 같은 클로린, 플루오린 및 실리카 전구물질이 사용될 수 있다. 일실시예는 무수 연료에 대한 연소촉진 첨가제에 관한 것이다. 상기 방법과 장치는 포토마스크 기판 및 광섬유 프리폼의 제조에 유용하다.