公开(公告)号：KR1020170077879A

公开(公告)日：2017-07-07

申请号：KR1020150187116

申请日：2015-12-28

Applicant: 코리아테크노(주)

Inventor： 송낙현 ,  나유광 ,  이재홍

IPC: H01L21/677

Abstract: 본발명은자박스(jar box)에수납된웨이퍼를풉(FOUP, front opening unified pod)으로이동시킬때, 자박스에서웨이퍼만을안정되게흡착분리시킬수 있고, 웨이퍼에간격부재가붙는것을방지할수 있는웨이퍼플립장치와웨이퍼플립방법에관한것이다. 이를위해웨이퍼플립장치는덮개가개방된자박스가지지되는박스지지유닛과, 자박스에서웨이퍼를인출하여웨이퍼를풉에적층시키는웨이퍼이송유닛에전달하는웨이퍼인출유닛및 웨이퍼인출유닛에의해자박스에서인출되는웨이퍼로부터간격부재를분리시키는웨이퍼분리유닛을포함한다.

Abstract translation: 本发明现在可以盒以移动容纳在（罐箱）脱离（FOUP，前开式盒）的晶片，并sikilsu单独只吸附在字符框稳定晶片，防止间隔构件粘到晶片 晶圆翻转装置和晶圆翻转方法。 为此，在晶片搬送单元晶片倒装装置晶片由晶片取单元传递通过层叠在框中的FOUP晶片支撑单元的晶片，所述盖被拉出取单元和框字符，字符框是开放字符框已经 从要绘制的晶片包括分离单元，用于分离晶片间隔部件。

公开(公告)号：KR101699882B1

公开(公告)日：2017-01-31

申请号：KR1020150187095

申请日：2015-12-28

Applicant: 코리아테크노(주)

Inventor： 송낙현 ,  나유광 ,  이재홍

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/68

Abstract: 본발명은자박스(jar box)에수납된웨이퍼를풉(FOUP, front opening unified pod)에상호이격된상태에서간편하게적층할수 있고, 웨이퍼와함께자박스(jar box)에수납된완충부재와간격부재를분리배출시킬수 있는웨이퍼이송장치에관한것이다. 이를위해웨이퍼이송장치는자박스(jar box)에수납된웨이퍼를풉(FOUP, front opening unified pod)에상호이격된상태로적층하는웨이퍼이송장치이고, 덮개가개방되지않은자박스가지지되는자박스준비유닛과, 웨이퍼가모두배출된자박스가배출되는자박스배출유닛과, 자박스준비유닛에지지되는자박스에서덮개를개방시키거나자박스배출유닛에지지되는자박스에덮개를결합시키는덮개개폐유닛과, 자박스에서웨이퍼와함께적재된완충부재와간격부재를각각자박스에서흡착분리시키는부재배출유닛과, 자박스에서웨이퍼를흡착분리시키는웨이퍼플립유닛과, 웨이퍼플립유닛으로분리되는웨이퍼를풉에적층시키는웨이퍼이송유닛을포함한다.

公开(公告)号：KR3008697590000S

公开(公告)日：2016-08-29

申请号：KR3020150066436

申请日：2015-12-28

Applicant: 코리아테크노(주)

Designer： 송낙현 ,  나유광 ,  이재홍

公开(公告)号：KR101720547B1

公开(公告)日：2017-03-31

申请号：KR1020150187100

申请日：2015-12-28

Applicant: 코리아테크노(주)

Inventor： 송낙현 ,  나유광 ,  이재홍

IPC: H01L21/677

Abstract: 본발명은자박스(jar box)에수납된웨이퍼를풉(FOUP, front opening unified pod)에상호이격된상태에서간편하게적층할수 있고, 웨이퍼와함께자박스(jar box)에수납된완충부재와간격부재를분리배출시킬수 있는웨이퍼이송방법에관한것이다. 이를위해웨이퍼이송방법은자박스(jar box)에수납된웨이퍼를풉(FOUP, front opening unified pod)에상호이격된상태로적층하는웨이퍼이송방법이고,덮개가개방되지않은상기자박스가지지되는자박스준비단계; 상기자박스준비단계에정위치되는상기자박스에서상기덮개를개방시키는덮개개방단계; 상기덮개개방단계를거쳐지지되는상기자박스에서상기웨이퍼와함께적재된완충부재와간격부재를각각상기자박스에서흡착분리시키는부재배출단계; 상기자박스에서상기웨이퍼를흡착분리시키는웨이퍼플립단계; 상기웨이퍼플립단계에서분리되는상기웨이퍼를상기풉에적층시키는웨이퍼이송단계; 상기웨이퍼가모두배출된상기자박스가배출되는자박스배출단계; 및상기자박스배출단계를거쳐지지되는상기자박스에상기덮개를결합시키는덮개결합단계;를포함한다.

Abstract translation: 本发明方框（罐箱）脱离容纳在晶片（FOUP，前开式盒）上相互隔开，并在存储在与晶片标记框（罐盒）的状态下，带电构件和距离来容易地堆叠 能够分离和排出构件的晶片传送方法。 为此，晶片传送方法是这样的晶片传送方法，其中容纳在广口瓶中的晶片以通过FOUP（前开口统一晶片盒）彼此分开的状态堆叠， 盒子准备步骤; 盖打开步骤，打开位于图像盒准备步骤中的图像盒中的盖; 部件排出步骤，在由所述盖开口步骤支撑的图像箱中吸附和分离与所述晶片堆叠在一起的所述缓冲部件和所述间隔部件; 晶片翻转步骤，用于从容器盒中吸附和分离晶片; 晶片传送步骤，将在晶片翻转步骤中分离的晶片沉积在FOUP上; 放出装有晶片的盒子的盒子放出步骤; 以及盖子安装步骤，将盖子安装到通过图像捕获和盒子排出步骤支撑的图像盒子上。