-
公开(公告)号：KR102038875B1
公开(公告)日：2019-10-31
申请号：KR1020180016143
申请日：2018-02-09
Applicant: 코리아테크노(주)
IPC: H01L21/677
-
公开(公告)号：KR1020090125331A
公开(公告)日：2009-12-07
申请号：KR1020080051386
申请日：2008-06-02
Applicant: 코리아테크노(주)
IPC: H01L23/544
CPC classification number: H01L23/544 , H01L21/67242 , H01L2223/54413 , H01L2223/54433
Abstract: PURPOSE: An apparatus for controlling OCR(Optical Character Recognition) position according to wafer size is provided to photograph ID inserted in a wafer by moving an OCR, by detecting the size of a wafer through sensing of sensors and then driving a driving motor with a control signal according to the detected signal. CONSTITUTION: A supporting member(240) supports an OCR(100). A top and a bottom slide bar(230) perform slide-guiding of the supporting member. A ball screw bar(220) is located between the slide bars. A driving part comprises a driving motor(210) rotating the ball screw bar. A first sensor detects the size of a first size wafer. A second sensor detects the size of a second size wafer.
Abstract translation: 目的：根据晶片尺寸控制OCR（光学字符识别）位置的装置通过移动OCR来提供插入到晶片中的照片ID，通过感测传感器检测晶片的尺寸，然后用驱动电机驱动驱动电机 控制信号。 构成：支撑构件（240）支撑OCR（100）。 顶部和底部滑动杆（230）执行支撑构件的滑动引导。 滚珠丝杠（220）位于滑杆之间。 驱动部件包括使滚珠丝杆旋转的驱动马达（210）。 第一传感器检测第一尺寸晶片的尺寸。 第二传感器检测第二尺寸晶片的尺寸。
-
公开(公告)号：KR1020090061838A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：KR1020070128807
申请日：2007-12-12
CPC classification number: G01R31/286 , H01L21/67778 , H01L21/68 , H01L22/30
Abstract: A wafer handling apparatus of the multi sorter is provided, in which the identification of the wafer required for each process is arranged in the wafer cassette at the same time and ID is read. A wafer handling apparatus of the multi sorter comprises the sorter(1) and the location moving part(2). The sorter sets up the align roller, the notch finder, and the step motor(43a) on the pad plate. The sorter circulates the align roller and notch finder to the belt connected to each pulley. The sorter performs the wafer align and notch search. The location moving part sets the location of sorter.
Abstract translation: 提供了一种多分选机的晶片处理装置，其中每个处理所需的晶片的识别同时布置在晶片盒中，并且读取ID。 多分选机的晶片处理装置包括分拣机（1）和位置移动部分（2）。 分拣机将校准辊，取景器和踏板电机（43a）安装在垫板上。 分拣机将校准辊和取样器循环到连接到每个滑轮的皮带。 分拣机执行晶圆对准和凹槽搜索。 位置移动部分设置分拣机的位置。
-
公开(公告)号：KR1020090061836A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：KR1020070128805
申请日：2007-12-12
IPC: H01L21/68
Abstract: A stage moving apparatus for use of multi sorter is provided to arrange consecutively wafers and make the internal fabric simple. The stage moving apparatus for use of multi sorter comprises a stage part(110) and a driving part(130). The stage part has a stage(111), a frame, and a driving arm(114) and a rotation axis. The stage mounts the various-size wafer cassettes. The wafer cassette transfers the wafers. The frame is positioned in the bottom side of the stage and unites with the stage into one body. The driving arm is arranged in frame in order to extend from the frame. The driving arm is fixed to the axis of rotation. The driving part rotates the driving arm.
Abstract translation: 提供了一种用于多分选机的舞台移动装置，以连续地布置晶片并使内部织物变得简单。 用于多分选机的舞台移动装置包括舞台部分（110）和驱动部分（130）。 舞台部具有舞台（111），框架，以及驱动臂（114）和旋转轴。 舞台安装各种尺寸的晶片盒。 晶片盒转移晶片。 框架定位在舞台的底部，并与舞台结合成一体。 驱动臂被布置成框架以便从框架延伸。 驱动臂固定在旋转轴上。 驱动部件使驱动臂旋转。
-
公开(公告)号：KR1020090131509A
公开(公告)日：2009-12-29
申请号：KR1020080057419
申请日：2008-06-18
Applicant: 코리아테크노(주)
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/68707 , H01L21/67259
Abstract: PURPOSE: An end effector and an apparatus for controlling a wafer position using the same are provided to move a plurality of wafers to a fixed position at the same time by absorbing a plurality of wafers through a plurality of base members. CONSTITUTION: A ball bushing is vertically moved by rotation of a screw bar. A loading part(110) includes a lift bracket(112) and a base member(111). An absorbing hole(111a) is formed to an end part of the base member. A driving part includes a servo motor(141), a driving pulley(142), a driven pulley, and a belt(145). The driving pulley is installed to a driving shaft of the servo motor. The driven pulley is installed to a bottom part of the screw bar. The belt connects the driving pulley to the driven pulley.
Abstract translation: 目的：提供一种末端执行器和用于使用其执行晶片位置控制的装置，以通过多个基座部件吸收多个晶片同时将多个晶片移动到固定位置。 构成：滚珠轴承通过螺杆的旋转而垂直移动。 装载部分（110）包括升降托架（112）和基座构件（111）。 在基体的端部形成吸收孔（111a）。 驱动部件包括伺服电机（141），驱动滑轮（142），从动皮带轮和皮带（145）。 驱动滑轮安装在伺服电动机的驱动轴上。 从动皮带轮安装在螺杆的底部。 皮带将驱动滑轮连接到从动滑轮。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100906370B1
公开(公告)日：2009-07-06
申请号：KR1020070118248
申请日：2007-11-20
Applicant: 코리아테크노(주)
IPC: H01L21/677
Abstract: 본 발명은 멀티소터의 스테이지 이송장치를 개시한다.
프레임본체와 2개의 스테이지와 이송부 및 이송벨트를 구동하는 구동수단을 갖는 구동부를 포함하여 이루어고, 상기 구동부는, 제 1구동수단과 제 2구동수단으로 구성하여 상기 구동프레임의 모터를 형성한 타측에 모터의 회전축과 연결된 메인롤러와, 상기 메인롤러 양측으로 상,하로 형성한 보조롤러들과, 상기 보조롤러의 일측에 형성된 보조롤러와, 상기 메인롤러와 보조롤러 및 보조롤러를 일측을 감싸며 서로 연결하는 작동벨트로 형성한 제 1구동수단과; 상기 메인롤러와 보조롤러의 일측면에 이송벨트를 작동하는 이송롤러들과, 상기 이송롤러 양측 하단으로 이격되게 형성한 하부이송롤러들과, 상기 이송롤러 양측 상단으로 이격되게 형성한 보조이송롤러들과, 상기 하부이송롤러 상부인 프레임본체의 가이드바 상단에 형성한 상부이송롤러들과, 상기 이송롤러들과 하부이송롤러들 및 보조이송롤러들 그리고 상부이송롤러들을 일측을 감싸며 서로 연결한 이송벨트들로 형성한 제 2구동수단을 포함하는 멀티소터의 스테이지 이송장치를 제공한다.
멀티소터, 스테이지, 웨이퍼, 구동부, 이송벨트, 작동벨트Abstract translation: 本发明公开了一种多分拣机转载装置。
-
公开(公告)号：KR1020090051833A
公开(公告)日：2009-05-25
申请号：KR1020070118248
申请日：2007-11-20
Applicant: 코리아테크노(주)
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/6773 , B65G1/026 , Y10S414/14
Abstract: 본 발명은 멀티소터의 스테이지 이송장치를 개시한다.
프레임본체와 2개의 스테이지와 이송부 및 이송벨트를 구동하는 구동수단을 갖는 구동부를 포함하여 이루어고, 상기 구동부는, 제 1구동수단과 제 2구동수단으로 구성하여 상기 구동프레임의 모터를 형성한 타측에 모터의 회전축과 연결된 메인롤러와, 상기 메인롤러 양측으로 상,하로 형성한 보조롤러들과, 상기 보조롤러의 일측에 형성된 보조롤러와, 상기 메인롤러와 보조롤러 및 보조롤러를 일측을 감싸며 서로 연결하는 작동벨트로 형성한 제 1구동수단과; 상기 메인롤러와 보조롤러의 일측면에 이송벨트를 작동하는 이송롤러들과, 상기 이송롤러 양측 하단으로 이격되게 형성한 하부이송롤러들과, 상기 이송롤러 양측 상단으로 이격되게 형성한 보조이송롤러들과, 상기 하부이송롤러 상부인 프레임본체의 가이드바 상단에 형성한 상부이송롤러들과, 상기 이송롤러들과 하부이송롤러들 및 보조이송롤러들 그리고 상부이송롤러들을 일측을 감싸며 서로 연결한 이송벨트들로 형성한 제 2구동수단을 포함하는 멀티소터의 스테이지 이송장치를 제공한다.
멀티소터, 스테이지, 웨이퍼, 구동부, 이송벨트, 작동벨트-
公开(公告)号：KR1020090061837A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：KR1020070128806
申请日：2007-12-12
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/67271 , H01L21/67259 , H01L21/6838 , H01L21/68707
Abstract: An end effector unit and position controlling apparatus for having the same are provided to enhance the transfer efficiency of the wafers and to transfer wafers at the same time. The end effector unit comprises an end effector(110), a LM guide(120), and a screw bar(130) and a step motor(140). The end effector has a substrate member(111) and a movement bracket(112). The substrate member supports a wafer. The substrate member has the suction hole for absorbing the wafer. The movement bracket moves up and down. The LM guide is combined with the movement bracket and guides the end effector. The screw bar is screwed with the movement bracket. The step motor is positioned in the upper side of the screw bar and unites with the screw bar through the connection shaft. A position control device of the multi sorter equipped with the end effector unit comprises the end effector unit and a linear robot.
Abstract translation: 提供了一种端部执行器单元和具有该端部执行器单元的位置控制装置，以增强晶片的传送效率并同时转移晶片。 末端执行器单元包括端部执行器（110），LM导轨（120）和螺杆（130）和步进马达（140）。 端部执行器具有衬底构件（111）和运动支架（112）。 衬底构件支撑晶片。 基板部件具有用于吸收晶片的吸入孔。 运动支架上下移动。 LM导轨与运动支架组合并引导末端执行器。 螺丝杆与运动支架拧紧。 步进电机定位在螺杆的上侧，并通过连接轴与螺杆连接。 配备有末端执行器单元的多分类器的位置控制装置包括端部执行器单元和线性机器人。
-
公开(公告)号：KR1020080107681A
公开(公告)日：2008-12-11
申请号：KR1020070055737
申请日：2007-06-07
Applicant: 코리아테크노(주)
Abstract: A camera system of an automatic inspection equipment for a photomask is provided to inspect defects of a photomask automatically via a monitor by photographing both side surfaces of the photomask. First positioning parts(20) have vertical bars(12) mounted at both sides on a base frame(11) of a base(10), and horizontal bars(13) connected to the vertical bars. A second positioning part(30) has a second moving block which moves in association with the movement of a screw bar(31). A camera(40) is mounted on the second moving block.
Abstract translation: 提供一种用于光掩模的自动检测设备的相机系统，通过拍摄光掩模的两个侧面来通过监视器自动检查光掩模的缺陷。 第一定位部件（20）具有安装在基座（10）的基架（11）两侧的垂直杆（12）和连接到垂直杆的水平杆（13）。 第二定位部件（30）具有与螺杆（31）的运动相关联地移动的第二移动块。 相机（40）安装在第二移动块上。
-
公开(公告)号：KR100846088B1
公开(公告)日：2008-07-14
申请号：KR1020070055738
申请日：2007-06-07
Applicant: 코리아테크노(주)
Abstract: A photomask rotating apparatus of auto inspection equipment is provided to hold a photomask with a cylinder moving rod which moves back and forth. A photomask rotating apparatus of auto inspection equipment includes a width controller(100), a photomask rotation unit(200), and a height controller(300). The width controller includes an LM guide, a screw bar, a driving unit, and moving blocks. The LM guide is installed on a rest in two rows. The screw bar is installed between the two rows of the LM guide. The driving unit rotates the screw bar. The moving blocks face each other connected with the LM guide. The photomask rotation unit comprises a pair of supporting plates, column members, a drive motor, and a rotating plate. The supporting plates are horizontally installed on the moving blocks facing each other. The column members are installed on the supporting plates. The drive motor is mounted on the column members. The rotating plate is fixed on the drive motor. The height controller consists of the same as the width controller.
Abstract translation: 提供一种自动检测设备的光掩模旋转装置，用于保持具有来回移动的气缸移动杆的光掩模。 自动检查设备的光掩模旋转装置包括宽度控制器（100），光掩模旋转单元（200）和高度控制器（300）。 宽度控制器包括LM导轨，螺杆，驱动单元和移动块。 LM导轨安装在两排的休息中。 螺杆安装在LM导轨的两排之间。 驱动单元旋转螺杆。 移动块与LM导轨相连接。 光掩模旋转单元包括一对支撑板，柱构件，驱动马达和旋转板。 支撑板水平地安装在彼此相对的移动块上。 柱构件安装在支撑板上。 驱动电机安装在柱构件上。 旋转板固定在驱动电机上。 高度控制器与宽度控制器相同。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
22
records
(took 0.019 seconds)
