公开(公告)号：KR1020070120415A

公开(公告)日：2007-12-24

申请号：KR1020070002365

申请日：2007-01-09

Applicant: 타퉁컴퍼니

Inventor： 제이슨로 ,  지안-민정

IPC: H01J1/304 ,  C01B31/06

CPC classification number: H01J1/304 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/30446 ,  C01B32/25

Abstract: An electron emission source and a field emission display using the electron emission source are provided to increase an aspect ratio and electric field by using a DLC(Diamond-Like Carbon) film layer. An electron emission source is comprised of a substrate and a film structure deposited on the substrate. The film structure is made of a DLC film layer(31). The film structure of the DLC film layer is arranged on the substrate to configure a petal shape. A lateral height of the film structure is from 0.5 to 4.0mum. The substrate is made of a semiconductor material, a metal material, an insulation material, or a glass material. The film structure is a curved film structure, a long-strip film structure, or a combination thereof. A thickness of the film structure is 0.005 to 0.1mum.

Abstract translation: 提供使用电子发射源的电子发射源和场发射显示器，以通过使用DLC（类金刚石碳）膜层来增加纵横比和电场。 电子发射源由沉积在衬底上的衬底和膜结构组成。 膜结构由DLC膜层（31）制成。 DLC膜层的膜结构布置在基板上以构成花瓣形状。 膜结构的横向高度为0.5〜4.0μm。 基板由半导体材料，金属材料，绝缘材料或玻璃材料制成。 膜结构是弯曲膜结构，长条状薄膜结构或其组合。 膜结构的厚度为0.005〜0.1μm。

公开(公告)号：KR100838114B1

公开(公告)日：2008-06-16

申请号：KR1020070002365

申请日：2007-01-09

Applicant: 타퉁컴퍼니

Inventor： 제이슨로 ,  지안-민정

IPC: H01J1/304 ,  C01B31/06

CPC classification number: H01J1/304 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/30446

Abstract: 본 발명은 전자 방출원과 이를 이용한 전계 방출 장치를 개시한다. 전자 방출원으로서 사용되는 다이아몬드형 탄소(DLC) 필름은 꽃잎 모양으로 배열되어 기판의 표면상에 형성되는 필름 구조물에 의해 특징지어진다. DLC 플레이크의 높이는 마이크로-규모이고, DLC 플레이크의 두께는 나노-규모이다. 그 결과, DLC 필름 구조물의 종횡비는 높다. 따라서, 이 DLC 필름은 전계 방출에 적합한 강화 요소를 가지고 있기 때문에, 뛰어난 전자-방출원으로서 사용된다. 그리고 공개된 전자-방출원 재료는 안정적인 전자-방출원으로서 역할을 하기 위해서 전계 방출 디스플레이에 적용될 수 있다.
전자 방출원, 필름 구조물, 전계 방출 디스플레이, 다이아몬드형 탄소(DLC), 종횡비

公开(公告)号：KR1020070106365A

公开(公告)日：2007-11-01

申请号：KR1020060077627

申请日：2006-08-17

Applicant: 타퉁컴퍼니

Inventor： 제이슨로 ,  지안-민정

IPC: H01L21/203 ,  H01L21/20 ,  B82Y40/00

CPC classification number: C23C14/0605 ,  C23C14/0057

Abstract: A method for fabricating a diamond-like carbon film is provided to form a diamond-like carbon film of a flake type with a high aspect ratio on a substrate like a semiconductor or glass. A substrate(1) is fixed to the inside of a reaction chamber(100). The pressure of the reaction chamber is pumped to 10^6 torr or lower. At least one carbon-containing gas is introduced into the reaction chamber, including hydrogen, inert gas or a composition thereof. A graphite target is sputtered to deposit a diamond-like carbon film on the substrate. The deposited diamond-like carbon film is of a flake type, and the structure of the flake type of the diamond-like film is disposed as a rose shape on the surface of the substrate.

Abstract translation: 提供一种制造类金刚石碳膜的方法，以在诸如半导体或玻璃的基板上形成具有高纵横比的片状类金刚石碳膜。 基板（1）固定在反应室（100）的内部。 将反应室的压力泵送至10 -6托或更低。 将至少一种含碳气体引入反应室，包括氢气，惰性气体或其组合物。 溅射石墨靶以在基底上沉积类金刚石碳膜。 沉积的类金刚石碳膜是薄片型的，并且类金刚石薄膜的片状结构在基板的表面上以玫瑰形状设置。

公开(公告)号：KR100852329B1

公开(公告)日：2008-08-14

申请号：KR1020060077627

申请日：2006-08-17

Applicant: 타퉁컴퍼니

Inventor： 제이슨로 ,  지안-민정

IPC: H01L21/203 ,  H01L21/20 ,  B82Y40/00

CPC classification number: C23C14/0605 ,  C23C14/0057

Abstract: 유사 다이아몬드 탄소 필름의 제조방법이 공개된다. 상기 제조법은, (a) 기재를 반응 챔버에 고정시키고; (b) 반응 챔버의 압력을 10
-6 torr 이하로 펌핑하고; (c) 탄소-함유 기체를 반응 챔버에 유입시키고; 그리고 (d) 흑연 타겟을 스퍼터링(sputtering)하여 유사 다이아몬드 탄소 필름을 기재 위에 증착하는 단계로 이루어진다. 상기 증착된 DLC 필름은 플레이크 형태로 되어있다. 상기 기재에 증착된 DLC 필름의 외관은 장미 모양이다. 또한, 상기 증착된 DLC 필름의 높이는 수 마이크로미터이고, 두께는 수 나노미터이다. 상기 증착된 플레이크 형태의 DLC 필름의 측면 비율이 높이 때문에 상기 증착된 DLC 필름은 전계 방출을 증가시킬 수 있다.
유사 다이아몬드 탄소 필름, 기재, 플레이크 형태, 스퍼터링 공정, 전계 방출, 흑연 타겟, 탄화수소, 반응 챔버, 전도층

公开(公告)号：KR100785658B1

公开(公告)日：2007-12-14

申请号：KR1020060127042

申请日：2006-12-13

Applicant: 타퉁컴퍼니

Inventor： 제이슨로 ,  지안-민정

IPC: H01J1/304 ,  C01B31/02

CPC classification number: H01J1/304 ,  H01J9/025 ,  H01J31/123 ,  H01J2201/30476

Abstract: An electron emission source and a field emission display device are provided to enable a diamond-like carbon composition to have a high aspect ratio through a film structure having a micro-scale height and a nano-scale thickness. An electron emission source includes a substrate(111) and an electron emission layer formed on the substrate. The electron emission layer contains diamond-like carbon flake composition having plural micro-scale film structures. The composition further contains a conductive substance, an adhesive substance, or its compound. The film structure has a thickness of 0.005 to 0.1 micrometers and a lateral height of 0.5 to 4.0 micrometers.

Abstract translation: 提供电子发射源和场致发射显示装置，以使得类金刚石碳组合物通过具有微尺度高度和纳米级厚度的膜结构具有高纵横比。 电子发射源包括衬底（111）和形成在衬底上的电子发射层。 电子发射层含有具有多个微尺度膜结构的类金刚石碳片组合物。 该组合物还含有导电物质，粘合物质或其化合物。 膜结构的厚度为0.005至0.1微米，横向高度为0.5至4.0微米。