Abstract:
본 발명은 종류가 다른 두 층의 강유전체 박막을 적층 할 때 발생하는 임프린트(imprint) 현상을 이용하여, 인가 전기장의 방향에 따라 두 가지의 다른 크기를 갖고 외부의 전원이 없이도 형상이 기억되는 형상 기억(shape memory) 방법 및 이를 이용한 소자에 관한 것이다. 강유전체에 임프린트 현상이 발생할 경우, 외부의 전기장이 가해지지 않더라도 즉 외부 전원이 없더라도, 두 가지의 서로 다른 크기의 압전 성질을 갖게 되며, 이는 내부의 전기적 불균형에 의한 것이다. 본 발명은 종류가 다른 두 층의 강유전체 박막 구조와 형성된 두 층으로 이루어진 강유전체 박막 구조와 형성된 박막 구조의 박막 두께 비 조절을 통해, 내부의 전기적인 불균형의 조절이 가능하도록 한 것을 특징으로 한다. 다층 박막, 강유전체, 임프린트, 형상 기억
Abstract:
A ferroelectric thin film and a shape memory device using the same indicating the shape memory formation method of the ferroelectric thin film are provided to control an imprint phenomenon to ferroelectric. A shape memory formation method of a ferroelectric thin film is as follows. The imprint phenomenon that laminates the ferroelectric is used. According to the direction of the applied electric field, it has the other size of two kinds of and the shape is memorized without the external power supply. The thickness-chord ratio of the thin film comprising 2 layer is controlled.