Abstract:
A transistor using deformation caused by piezoelectric effect of a carbon nano tube is provided to obtain a transistor of a new concept using deformation of a carbon nano tube caused by deformation of a piezoelectric device by using a device of a several nano meter using a carbon nano tube. A piezoelectric device(6) is disposed at one side of a carbon nano tube(5) so that the carbon nano tube is deformed by contraction or expansion of the piezoelectric device. A switching process is performed by a difference of specific resistance of the carbon nano tube generated by a deformation quantity of the carbon nano tube caused by the contraction or expansion of the piezoelectric device. The piezoelectric device can be a shape memory piezoelectric actuator.
Abstract:
본 발명은 종류가 다른 두 층의 강유전체 박막을 적층 할 때 발생하는 임프린트(imprint) 현상을 이용하여, 인가 전기장의 방향에 따라 두 가지의 다른 크기를 갖고 외부의 전원이 없이도 형상이 기억되는 형상 기억(shape memory) 방법 및 이를 이용한 소자에 관한 것이다. 강유전체에 임프린트 현상이 발생할 경우, 외부의 전기장이 가해지지 않더라도 즉 외부 전원이 없더라도, 두 가지의 서로 다른 크기의 압전 성질을 갖게 되며, 이는 내부의 전기적 불균형에 의한 것이다. 본 발명은 종류가 다른 두 층의 강유전체 박막 구조와 형성된 두 층으로 이루어진 강유전체 박막 구조와 형성된 박막 구조의 박막 두께 비 조절을 통해, 내부의 전기적인 불균형의 조절이 가능하도록 한 것을 특징으로 한다. 다층 박막, 강유전체, 임프린트, 형상 기억
Abstract:
A ferroelectric thin film and a shape memory device using the same indicating the shape memory formation method of the ferroelectric thin film are provided to control an imprint phenomenon to ferroelectric. A shape memory formation method of a ferroelectric thin film is as follows. The imprint phenomenon that laminates the ferroelectric is used. According to the direction of the applied electric field, it has the other size of two kinds of and the shape is memorized without the external power supply. The thickness-chord ratio of the thin film comprising 2 layer is controlled.
Abstract:
본 발명은 종래의 나노 막대에 비해 우수한 전자 방출 효율을 나타낼 뿐 아니라 위치와 형상의 제어가 용이한 나노 핀 어레이의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 제조방법은 기판상에 나노 핀을 구성하는 물질의 박막을 형성하고, 상기 박막 상에 나노템플레이트를 형성한 후, 상기 나노 템플레이트가 완전히 제거될 때까지 나노 템플레이트와 박막을 함께 에칭함으로써, 기판상에 상기 나노 템플레이트의 패턴에 따른 나노 핀 어레이가 형성되도록 하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따라 형성된 나노 핀 어레이는 수 나노미터 이하의 아주 날카로운 형태를 가지게 되어 전계 방출원으로서 우수한 효율을 나타낸다. 양극산화 알루미나, 금속 나노핀, 습식 에칭
Abstract:
PURPOSE: A method for fabricating metal nanopin array and an electron emission element using the same are provided to manufacture a nonopins having various thickness by etching the nono template and a thin film and forming the nonopin. CONSTITUTION: A thin film of the material comprising a nano pin is formed on a substrate(a). A nano template is formed on the thin film(b). The nano template and the thin film are together etched until the nano template is completely removed(c). The nano pin array according to the pattern of the nano template is formed on the substrate(d).