公开(公告)号：WO2019112148A1

公开(公告)日：2019-06-13

申请号：PCT/KR2018/009898

申请日：2018-08-28

Applicant: 포항공과대학교 산학협력단

Inventor： 이지모 ,  윤건수 ,  이재구 ,  이승택 ,  남우진 ,  김원석

IPC: H05H1/46

CPC classification number: H05H1/46

Abstract: 본 발명의 목적은 마이크로파로 생성된 플라즈마의 시스와 벌크를 확장하는 이중의 고주파수를 이용한 플라즈마의 시스와 벌크의 확장방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 이중의 고주파수를 이용한 플라즈마의 시스와 벌크의 확장방법은, 마이크로파 플라즈마 발생기로 플라즈마를 생성하는 생성단계, 및 상기 마이크로파 플라즈마 발생기와 설정 간격으로 이격 배치되는 무선주파수 전극에 무선주파수(RF)를 바이어스 인가하여 상기 플라즈마의 시스와 벌크를 확장하는 확장단계를 포함한다.