公开(公告)号：KR1020170029751A

公开(公告)日：2017-03-16

申请号：KR1020150126717

申请日：2015-09-08

Applicant: 포항공과대학교 산학협력단 ,  대구가톨릭대학교산학협력단

Inventor： 손선영 ,  김화민 ,  이창현

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/08 ,  C23C14/10 ,  C23C14/14 ,  C23C14/18 ,  C23C14/20 ,  C03C17/34 ,  C03C17/245 ,  C01B33/12 ,  C01G9/02

Abstract: 스퍼터링을이용하여단일층의복합산화물로형성되는친수성박막및 그제조방법이개시된다. 이러한친수성박막은 SiO와 SnO의혼합물의스퍼터링타겟을이용하여증착되어단일층으로형성된다. 스퍼터링공정시에증착율을조절함으로써단일층으로기판표면에나노패턴한효과를가지게되어실질적으로한가지재료로친수코팅막을형성할수 있다는장점을가지게된다. 이러한친수성박막은광의유무에따른제약이없고, 복수층일필요가없기때문에광투과율제어가용이하다.

Abstract translation: 公开了通过溅射由单层复合氧化物形成的亲水性薄膜及其制造方法。 使用SiO和SnO的混合物的溅射靶来沉积该亲水性薄膜以形成单层。 通过在溅射过程中控制沉积速率，可以获得基板表面上的纳米图案效果作为单层，并且可以用基本上一种材料形成亲水涂层膜。 亲水性薄膜根据有无银光而没有限制，不需要多层，因此透光率控制容易。

公开(公告)号：KR1020160145463A

公开(公告)日：2016-12-20

申请号：KR1020150103564

申请日：2015-07-22

Applicant: 대구가톨릭대학교산학협력단 ,  정상권

Inventor： 정상권 ,  배강 ,  이창현 ,  김화민 ,  손선영 ,  이창규

IPC: C23C14/56 ,  C23C14/54 ,  C23C14/34

Abstract: 롤투롤증착장치가개시된다. 일실시예에있어서, 상기롤투롤증착장치는챔버, 언와인딩롤러, 와인딩롤러, 타겟, 제1롤러, 제2롤러및 전원부를포함한다. 상기언와인딩롤러는상기챔버내부에배치되며, 롤링하여유연성기판을공급한다. 상기와인딩롤러는상기챔버내부에상기언와인딩롤러와대향하게배치되며, 롤링하여상기유연성기판을회수한다. 상기타겟은상기챔버내부에배치되며, 일면이상기챔버내부에상기언와인딩롤러와상기와인딩롤러사이를이동하는상기기판에대향하여배치되며, 스퍼터링에의하여상기기판의일면에막을증착한다. 상기제1롤러와상기제2롤러는상기챔버내부에상기언와인딩롤러및 상기와인딩롤러사이에서서로이격되어배치되며, 상기타겟과대향하여이동하는상기기판이상기타겟과소정의거리를유지하도록한다. 상기전원부는상기기판과상기타겟사이에전압을인가하여상기챔버내부에플라즈마를생성한다. 이경우, 상기제1롤러는롤링하여상기언와인딩롤러로부터상기기판을공급받아상기제2롤러로제공한다. 상기제2롤러는롤링하여상기제1롤러가제공하는상기기판을공급받아상기와인딩롤러로제공한다. 상기제1롤러와상기제2롤러는상기기판의타면과접하여, 상기기판중에서상기제1롤러와상기제2롤러사이에위치하는상기기판부분-이하증착영역이라함-의장력이소정의수준으로유지되도록하여상기증착영역이상기타겟과상기소정의거리를유지하도록한다.

公开(公告)号：KR1020170012489A

公开(公告)日：2017-02-02

申请号：KR1020170000188

申请日：2017-01-02

Applicant: 대구가톨릭대학교산학협력단 ,  정상권

Inventor： 정상권 ,  배강 ,  이창현 ,  김화민 ,  손선영 ,  이창규

IPC: C23C14/56 ,  C23C14/34 ,  C23C14/54

Abstract: 롤투롤증착장치가개시된다. 일실시예에있어서, 상기롤투롤증착장치는챔버, 언와인딩롤러, 와인딩롤러, 타겟, 제1롤러, 제2롤러및 전원부를포함한다. 상기언와인딩롤러는상기챔버내부에배치되며, 롤링하여유연성기판을공급한다. 상기와인딩롤러는상기챔버내부에상기언와인딩롤러와대향하게배치되며, 롤링하여상기유연성기판을회수한다. 상기타겟은상기챔버내부에배치되며, 일면이상기챔버내부에상기언와인딩롤러와상기와인딩롤러사이를이동하는상기기판에대향하여배치되며, 스퍼터링에의하여상기기판의일면에막을증착한다. 상기제1롤러와상기제2롤러는상기챔버내부에상기언와인딩롤러및 상기와인딩롤러사이에서서로이격되어배치되며, 상기타겟과대향하여이동하는상기기판이상기타겟과소정의거리를유지하도록한다. 상기전원부는상기기판과상기타겟사이에전압을인가하여상기챔버내부에플라즈마를생성한다. 이경우, 상기제1롤러는롤링하여상기언와인딩롤러로부터상기기판을공급받아상기제2롤러로제공한다. 상기제2롤러는롤링하여상기제1롤러가제공하는상기기판을공급받아상기와인딩롤러로제공한다. 상기제1롤러와상기제2롤러는상기기판의타면과접하여, 상기기판중에서상기제1롤러와상기제2롤러사이에위치하는상기기판부분-이하증착영역이라함-의장력이소정의수준으로유지되도록하여상기증착영역이상기타겟과상기소정의거리를유지하도록한다.