公开(公告)号：KR100620076B1

公开(公告)日：2006-09-06

申请号：KR1020050035184

申请日：2005-04-27

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 최원국 ,  정연식 ,  강동헌 ,  이경주

IPC: B01J37/08 ,  B01J21/06 ,  B01J37/02 ,  B01J35/00

Abstract: 순수한 TiO
2 의 O가 C와 N으로 치환된 일반식 TiO
2-x-δ C
x N
δ 로 표시되는 박막형 이산화티탄계 광촉매 및 자성 물질이 제공된다. Ti와 Ar, N
2 , CO
2 , CO 및 O
2 등의 기체를 사용하여 직류 반응성 스퍼터링에 의하여 TiO
2-x-δ C
x N
δ 박막을 형성시키는 공정과 상기 형성된 박막을 500℃ 정도의 온도에서 열처리하여 결정화시키는 공정으로 이루어지는 일반식 TiO
2-x-δ C
x N
δ 로 표시되는 박막형 이산화티탄계 광촉매 및 자성 물질의 제조 방법이 제공된다. 본 발명에 의한 일반식 TiO
2-x-δ C
x N
δ 로 표시되는 이산화티탄계 광촉매 및 자성 물질은 순수한 이산화티탄에 비하여 광학적 밴드갭이 작아 가시광 영역에서 광촉매로서 작동하고, 또한 순수한 아나타제 결정상만으로 구성되고, 결정립의 크기가 작기 때문에 광촉매 효율 및 자정 능력이 매우 우수하다.
광촉매, 이산화티탄, 자정 유리, 초친수성, 가시광 영역 광촉매.

Abstract translation: 纯TiO