公开(公告)号：KR100922543B1

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：KR1020070093541

申请日：2007-09-14

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 리헤큉 ,  이욱성 ,  백영준 ,  박종극

IPC: C30B29/04 ,  C23C16/22 ,  H01L21/84

CPC classification number: C23C16/277 ,  B82Y30/00 ,  C23C16/271 ,  C23C16/279

Abstract: 본 발명은 나노 결정질 다이아몬드 박막 중의 비정상 거대 입자 (abnormal large grain)의 개재를 방지하는 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 방법은 열 필라멘트 시브이디 공정으로 나노 결정질 다이아몬드 박막을 증착함에 있어 부적절한 공정제어로 인해 야기될 수 있는 비정상 거대 입자의 개재를 방지할 수 있게 해줌으로써, 비정상 거대 입자의 개재로 인해 야기될 수 있는 각종 응용분야에서의 문제점들을 미연에 방지할 수 있게 해준다.

公开(公告)号：KR1020090028169A

公开(公告)日：2009-03-18

申请号：KR1020070093541

申请日：2007-09-14

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 리헤큉 ,  이욱성 ,  백영준 ,  박종극

IPC: C30B29/04 ,  C23C16/22 ,  H01L21/84

CPC classification number: C23C16/277 ,  B82Y30/00 ,  C23C16/271 ,  C23C16/279

Abstract: A method for preventing the abnormal large grain inclusion in the nanocrystalline diamond film is provided to prevent abnormal large grain inclusion from being interposed in the NCD(Nano-Crystalline Diamond) thin film evaporated by the hot filament chemical vapor deposition. In the process of depositing the NCD thin film by using the hot filament chemical vapor deposition process, the interposing of the abnormal large grain inclusion among the NCD thin film is prevented by using one or more among the following method. After the inert material is extended from the substrate to 50 mm over, the temperature of the inert material is measured by a thermocouple. The material having inactive and the high heat conduction is coated on the thermocouple. The contactless temperature measurement means is used.

Abstract translation: 提供了防止纳米晶体金刚石膜中异常大晶粒夹杂的方法，以防止异常的大晶粒夹杂物插入通过热丝化学气相沉积蒸发的NCD（纳米结晶金刚石）薄膜中。 在通过使用热丝化学气相沉积工艺沉积NCD薄膜的过程中，通过使用以下方法中的一种或多种来防止NCD薄膜中的异常大晶粒夹杂物的插入。 在将惰性材料从衬底延伸到50mm之后，通过热电偶测量惰性材料的温度。 具有无活性和高热传导的材料涂覆在热电偶上。 使用非接触式温度测量装置。