公开(公告)号：KR101586073B1

公开(公告)日：2016-01-19

申请号：KR1020140108454

申请日：2014-08-20

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 최원국 ,  박동희 ,  위창환 ,  황도경

IPC: G02B1/11

CPC classification number: G02B1/115 ,  G02B1/118 ,  Y10T428/24413 ,  G02B1/11

Abstract: 무반사나노코팅구조및 그제조방법이제공된다. 상기무반사나노코팅구조는평면또는곡면기판; 상기기판상에배치되고, 상기기판에비해저굴절률을갖는제1 산화물나노입자를포함하는제1 코팅층; 상기제1 코팅층상에수직배열된, 이산화티탄나노입자로이루어진테이퍼드나노필러(tapered nano-pillar)를포함하는제2 코팅층; 및상기나노필러의단부에배치된, 상기기판에비해저굴절률을갖는제2 산화물나노입자를포함하는제3 코팅층;을포함한다. 상기무반사나노코팅구조는입사광의각도의존성이매우낮은무반사특성을갖는다. 상기무반사나노코팅구조는스퍼터링방법을반응성기체의비율을조절함으로써기판의곡률에관계없이기판의모든면에서수직배열되는나노구조를형성할수 있다.

Abstract translation: 提供一种抗反射纳米涂层结构及其制造方法。 抗反射纳米涂层结构包括：平坦或曲线基板; 布置在所述基板上的第一涂层，包括具有比所述基板的折射率低的折射率的第一氧化物纳米颗粒; 垂直设置在第一涂层上的第二涂层，包括由二氧化钛纳米颗粒构成的锥形纳米柱; 以及布置在所述纳米柱的端部上的第三涂层，包括具有比所述基底的反射指数低的反射指数的第二氧化物纳米颗粒。 抗反射纳米涂层结构具有入射光的角度依赖性低的抗反射性。 防反射纳米涂层结构控制溅射法中反应气体的比例，并且形成垂直布置在基板的所有表面上的纳米结构，而不涉及基板的曲率。