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公开(公告)号:KR101937294B1
公开(公告)日:2019-01-11
申请号:KR1020170132694
申请日:2017-10-12
Applicant: 한국과학기술연구원
Inventor: 유용상 , 김철기 , 전영민 , 이신두 , 유의상 , 김재헌
IPC: G01N21/552 , G01J3/46 , H01L29/06 , H01L21/311