公开(公告)号：KR102059967B1

公开(公告)日：2019-12-27

申请号：KR1020180030742

申请日：2018-03-16

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 이상현 ,  이아람 ,  김태욱 ,  배수강 ,  이승기

IPC: G01K11/32 ,  G01K5/50 ,  G01B11/16 ,  G01L1/24

公开(公告)号：KR101989985B1

公开(公告)日：2019-06-18

申请号：KR1020170119666

申请日：2017-09-18

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 이상현 ,  박미나 ,  이아람 ,  배수강 ,  전대영 ,  김태욱 ,  이동수

IPC: H01L21/28 ,  H01L29/16