公开(公告)号：KR102239323B1

公开(公告)日：2021-04-13

申请号：KR1020190076075A

申请日：2019-06-26

Applicant: 한국과학기술연구원 ,  한국산업기술대학교 산학협력단

Inventor： 전대영 ,  남득현 ,  이동수 ,  안승언

IPC: G01L1/14 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  G01L9/00

CPC classification number: G01L1/14 ,  G01L9/0072 ,  G01L9/0098 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 카본 나노튜브 시트를 포함하는 압력 센서는 제1 기판, 제1 전극, 제2 전극, 카본 나노튜브 시트 및 제2 기판을 포함한다. 상기 제1 전극은 상기 제1 기판 상에 배치된다. 상기 제2 전극은 상기 제1 기판 상에 배치되고 상기 제1 전극과 제1 방향으로 이격된다. 상기 카본 나노튜브 시트는 상기 제1 기판 상에 배치되고, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 배치된다. 상기 제2 기판은 상기 제1 전극, 상기 제2 전극 및 상기 카본 나노튜브 시트 상에 배치된다. 상기 카본 나노튜브 시트는 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 연장되는 복수의 카본 나노튜브 스트링들을 포함한다.

公开(公告)号：KR102118608B1

公开(公告)日：2020-06-04

申请号：KR1020180129067

申请日：2018-10-26

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 전대영 ,  남득현 ,  김윤정 ,  안석훈 ,  구혜영

IPC: H01L45/00

公开(公告)号：KR102098288B1

公开(公告)日：2020-04-07

申请号：KR1020180103697

申请日：2018-08-31

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 전대영 ,  이승기 ,  김남동 ,  이동수 ,  김태욱

IPC: H01L21/66 ,  G01N27/00

公开(公告)号：KR102090019B1

公开(公告)日：2020-03-17

申请号：KR1020180072707

申请日：2018-06-25

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 황선빈 ,  이동수 ,  전대영 ,  배수강 ,  이승기 ,  이상현 ,  김태욱

IPC: G03F7/24 ,  G03F7/20 ,  H01L27/30 ,  H01L21/027

公开(公告)号：KR102239323B1

公开(公告)日：2021-04-13

申请号：KR1020190076075

申请日：2019-06-26

Applicant: 한국과학기술연구원 ,  한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 전대영 ,  남득현 ,  이동수 ,  안승언

IPC: G01L1/14 ,  G01L9/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 카본나노튜브시트를포함하는압력센서는제1 기판, 제1 전극, 제2 전극, 카본나노튜브시트및 제2 기판을포함한다. 상기제1 전극은상기제1 기판상에배치된다. 상기제2 전극은상기제1 기판상에배치되고상기제1 전극과제1 방향으로이격된다. 상기카본나노튜브시트는상기제1 기판상에배치되고, 상기제1 전극및 상기제2 전극사이에배치된다. 상기제2 기판은상기제1 전극, 상기제2 전극및 상기카본나노튜브시트상에배치된다. 상기카본나노튜브시트는상기제1 방향과다른제2 방향으로연장되는복수의카본나노튜브스트링들을포함한다.

公开(公告)号：KR102157347B1

公开(公告)日：2020-09-18

申请号：KR1020180118224

申请日：2018-10-04

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 이민욱 ,  전대영 ,  김희주 ,  양철민

IPC: C08J9/26 ,  C08L83/04 ,  C08K3/04 ,  C08J3/20

公开(公告)号：KR1020210000852A

公开(公告)日：2021-01-06

申请号：KR1020190076075

申请日：2019-06-26

Applicant: 한국과학기술연구원 ,  한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 전대영 ,  남득현 ,  이동수 ,  안승언

IPC: G01L1/14 ,  G01L9/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 카본나노튜브시트를포함하는압력센서는제1 기판, 제1 전극, 제2 전극, 카본나노튜브시트및 제2 기판을포함한다. 상기제1 전극은상기제1 기판상에배치된다. 상기제2 전극은상기제1 기판상에배치되고상기제1 전극과제1 방향으로이격된다. 상기카본나노튜브시트는상기제1 기판상에배치되고, 상기제1 전극및 상기제2 전극사이에배치된다. 상기제2 기판은상기제1 전극, 상기제2 전극및 상기카본나노튜브시트상에배치된다. 상기카본나노튜브시트는상기제1 방향과다른제2 방향으로연장되는복수의카본나노튜브스트링들을포함한다.

公开(公告)号：KR101989985B1

公开(公告)日：2019-06-18

申请号：KR1020170119666

申请日：2017-09-18

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 이상현 ,  박미나 ,  이아람 ,  배수강 ,  전대영 ,  김태욱 ,  이동수

IPC: H01L21/28 ,  H01L29/16

公开(公告)号：KR102093697B1

公开(公告)日：2020-03-26

申请号：KR1020180116971

申请日：2018-10-01

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 전대영 ,  이민욱 ,  김희주 ,  이동수

IPC: G01L1/14 ,  G01L1/20 ,  G06F17/10