公开(公告)号：KR101971858B1

公开(公告)日：2019-04-25

申请号：KR1020170100147

申请日：2017-08-08

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 손동익 ,  이규승 ,  임화인 ,  이칠형

IPC: H01L51/42 ,  H01L51/00 ,  H01L31/0256

公开(公告)号：KR102151403B1

公开(公告)日：2020-09-03

申请号：KR1020190090879

申请日：2019-07-26

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 손동익 ,  이규승 ,  임화인

IPC: H01L51/42 ,  H01L51/44 ,  H01L51/00 ,  H01L31/0256