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公开(公告)号：KR100329807B1
公开(公告)日：2002-03-25
申请号：KR1019990032789
申请日：1999-08-10
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/30
Abstract: 본발명은반도성을갖는세라믹물질의박·후막을이용한가스감지소자에관한것으로서, 특히전극의배열방법을변화시켜센싱특성을증진시킨박·후막형반도체식가스감지소자에관한것이다. 본발명의목적은가스센싱의정확도를향상시키고재현성있는전극을제공함과아울러회복속도및 응답특성을향상시키고자하는데있다. 본발명은기판(1)과, 상기기판상면에소정의패턴으로형성되는하부전극(2')과, 상기하부전극이형성된기판의상면에형성되는박·후막형반도성물질감지막(3)과, 상기감지막상면에소정의패턴으로형성되는상부전극(2')과, 상기기판하면에형성되는히터(4)와, 상기히터가형성된기판의하면에형성되는절연재(5)로이루어지는가스센서를제공한다. 본발명의바람직한실시예에따르면, 상기상·하부전극(2', 2')은 I자형태를가진다. 또한, 상기상·하부전극은박막또는후막형태로이루어지고, 상기상부전극(2')과하부전극(2')은다른재질로이루어질수 있다.
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公开(公告)号：KR1020010017336A
公开(公告)日：2001-03-05
申请号：KR1019990032789
申请日：1999-08-10
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/30
Abstract: PURPOSE: Structure of an electrode is provided to improve the accuracy of gas sensing, a recovery speed, and responsiveness and to produce a reproducible electrode. CONSTITUTION: A semiconductor type gas sensor includes: a substrate(1); a lower electrode(2') formed on the upper face of the substrate in a specific pattern; a thin and thick type semiconductor material sensing film(3) formed on the upper face of the substrate whereon the lower electrode is formed; an upper electrode(2") formed on the upper face of the sensing film in a specific pattern; a heater formed in the lower face of the substrate; and an insulating material formed on the lower face whereon the heater is formed. Herein, the upper and lower electrodes are formed in an I shape of a thick or thin film, and made of different materials. With simple change of the position and shape of an electrode without an additional device, the accuracy of gas sensing, a recovery speed, and responsiveness are enhanced. Additionally, a reproducible electrode is provided.
Abstract translation: 目的：提供电极的结构，以提高气体检测的精度，恢复速度和响应性，并产生可再生电极。 构成：半导体型气体传感器包括：基板（1）; 以特定图案形成在所述基板的上表面上的下电极（2'）; 形成在形成下电极的基板的上表面上的薄厚半导体材料感测膜（3）; 以特定图案形成在感测膜的上表面上的上电极（2“）;形成在基板的下表面的加热器;形成在加热器的下表面上的绝缘材料，这里， 上电极和下电极形成为厚薄薄膜的I形，并且由不同的材料制成，在没有附加装置的情况下，电极的位置和形状的简单改变，气体感测的精度，恢复速度和 提高了响应性，另外还提供了可再生电极。
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公开(公告)号：KR100181257B1
公开(公告)日：1999-05-15
申请号：KR1019960000102
申请日：1996-01-05
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본 발명은 NOx가스감지소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 종래의 NOx가스농도측정방법은 전기화학센서(Electrochemical Sensor), 질량분광계(Mass Spectrom etry)등의 장비를 이용하여 분석하는 방법을 채용하였는데, 자동차 등의 측정장비에 부착이 어렵고, 소형화가 곤란하며, 가격이 비싼 단점이 있다.
이에 박막증착용 알루미나 기판 전면에 소정의 패턴으로 백금 박막전극을 형성하는 공정과; 알루미나 기판 후면에 팔라듐-은 후막 히터를 실크스크린 프린팅법으로 형성하는 공정과; 전극이 형성된 기판의 전면에 NOx가스감지용 산화텅스텐 박막을 증착하고, 열처리하는 공정과; 전극과 히터에 각각 도선을 연결하는 공정과; 히터가 형성된 기판 후면에 고온용 알루미나 접착제를 도포하여 방열 및 절연시키는 공정으로 이루어지는 본 발명의 제조방법을 통하여 가스감지용 박막으로 WO
3 산화물 반도체를 사용하여 제조됨을 특징으로 한 NOx가스감지소자를 제공하여 자동차의 배출가스계측에 적용가능한 저가의 소형 고감도 센서를 제조가능하도록 한 것이다.-
公开(公告)号：KR1019970059733A
公开(公告)日：1997-08-12
申请号：KR1019960000102
申请日：1996-01-05
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본 발명은 NO
X 가스 감지 소자 및 그제조방법에 관한 것으로 종래의 NO
X 가스농도 측정방법은 전기화학센서(Electrochemical Sensor), 질량분광계(Mass Spectrometry)등의 장비를 이용하여 분석하는 방법을 채용하였는데, 자동차 등의 측정장비에 부착이 어렵고, 소형화가 곤란하며, 가격이 비싼 단점이 있다. 이에 박막증착용 알루미나 기판 전면에 소정의 패턴으로 백금박막전극을 형성하는 공정과 알루미나 기관 후면에 팔라듐-은 후막히터를 실크스크린 프린팅법으로 형성하는 공정과; 전극이 형성된 기관의 전면에 NO
X 가스 감지용 산화텅스텐 박막을 증착하고 열처리하는 공정과, 전극과 히터에 각각도선을 연결하는 공정과 ,히터가 형성된 기관 후면에 고온용 알루미나 접착제를 도포하여 방열 및 절연시키는 공정으로 이루어지는 본 발명의 제조방법을 통하여 가스감지용 박막으로 WO
3 산화물 반도체를 사용하여 제조됨을 특징으로 한 NO
X 가스 감지 소자를 제공하여 자동차의 배출가스계측에 적용가능한 저가의 소형 고감도 센서를 제조가능하도록 한 것이다.-
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR1020010017335A
公开(公告)日：2001-03-05
申请号：KR1019990032788
申请日：1999-08-10
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/407
Abstract: PURPOSE: A gas sensor is provided to improve the sensing characteristic by offering an excellent detecting film. CONSTITUTION: A gas sensor comprises an electrode(2) on a substrate(1); a solid solution thin/thick film type detecting film(3) of a WO 3 and a p-type semi-conductive material on the substrate; a heater(4) under the substrate; and an insulating material(5) under the substrate. The gas sensor detects detectable gases such as ammonia and so on. The detecting film increases the sintering property by adding the p type semi-conductive material in the WO 3 . The detecting film increases the reactivity with a NOx by controlling an amount of conductive carriers inside the film. The detecting film comprises a solid solution containing more than one p-type semi-conductive material groups of CuO, NiO, CoO, Cr 2 O 3 , Cu 2 O, MoO 3 , Bo 2 O 3 , MnO 2 and Pr 2 O 3 .
Abstract translation: 目的：提供气体传感器，通过提供优异的检测膜来提高感测特性。 构成：气体传感器包括在基底（1）上的电极（2）; 在基板上的固体溶液薄/厚膜型检测膜（3）和p型半导体材料; 在基底下方的加热器（4）; 和衬底下方的绝缘材料（5）。 气体传感器检测可检测的气体，如氨等。 检测膜通过在WO
3 中添加p型半导体材料来增加烧结性能。 检测膜通过控制膜内的导电载体的量来增加与NOx的反应性。 检测膜包括含有多于一种p型半导电材料组的CuO，NiO，CoO，Cr 2 O 3的固溶体 ，Cu 2 O，MoO 3 ，Bo 2 O 3 ，MnO 2 和Pr 2 O 3 。 -
公开(公告)号：KR100242792B1
公开(公告)日：2000-03-02
申请号：KR1019970023758
申请日：1997-06-10
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/14
Abstract: 본 발명은, 히터의 노출에 따른 에너지 낭비를 막고 측정 부위의 가스 흐름이나 외부 조건에 의존하여 감지막에 전달되는 온도를 일정하게 조절하여 센싱 특성을 안정화시킨 반도체식 가스 센서를 제공하기 위하여, 박막증착용 알루미나 기판 앞면에 소정의 패턴으로 형성되는 백금 박막 전극과; 상기 전극이 형성된 기판의 앞면에 증착되는 NO
x 가스 감지용 산화텅스텐 박막과; 상기 알루미나 기판 뒷면에 형성되어 상기 감지막 부위의 온도를 일정하게 유지하기 위한 히터와; 상기 알루미나 기판의 뒷면에 형성되는, 상기 히터를 완전히 매몰시켜 상기 히터를 외부에 대하여 방열하기 위한, 알루미나, 뮬라이트, 코디에라이트, 마그네시아 및 지르코니아로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나의 재료로 만들어지는 쉬트;를 포함하는 센싱 특성이 안정화된 반도체식 판상 가스 센서 및 알루미나봉과; 상기 알루미나봉위에 형성되는 히터와; 상기 알루미나봉위에 감겨지는, 상기 히터를 완전히 매몰시켜 상기 히터를 외부에 대하여 방열하기 위한, 알루미나, 뮬라이트, 코디에라이트, 마그네시아 및 지르코니아로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나의 재료로 만들어지는 쉬트와; 상기 쉬트위에 소정의 패턴으로 형성되는 백금 박막 전극과; 상기 전극위에 증착되는 NO
x 가스 감지용 산화텅스텐 박막;을 포함하는 센싱 특성이 안정화된 반도체식 봉상 가스 센서 및 그의 제조방법을 제공한다.-
公开(公告)号：KR100246719B1
公开(公告)日：2000-04-01
申请号：KR1019970003403
申请日：1997-02-04
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/28
Abstract: 본 발명은 자동차의 배출가스 계측에 적용 가능한 저가의 소형 고감도 NO
X 가스 감지 소자를 제공하기 위하여, 박막증착용 알루미나 기판 앞면에 소정의 패턴으로 형성되는 백금 박막 전극과; 상기 알루미나 기판 뒷면에 형성되는 팔라듐-은 후막 히터와; 상기 전극 및 히터에 연결되는 도선과; 상기 전극이 형성된 기판의 앞면에 증착되는 NO
X 가스 감지용 산화텅스텐 박막과; 상기 산화텅스텐 박막의 앞면에 1 내지 100Å의 두께로 증착되는 NiO 촉매층 박막; 및 상기 히터가 형성된 기판의 뒷면에 도포되어 기판의 방열 및 기판을 절연시키는 고온용 알루미나 접착제;로 이루어지는 WO
3 감지막을 이용한 NO
X 가스 감지 소자 및 상기 감지 소자의 제조 방법을 제공한다.-
公开(公告)号：KR1019990000697A
公开(公告)日：1999-01-15
申请号：KR1019970023758
申请日：1997-06-10
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/14
Abstract: 본 발명은, 히터의 노출에 따른 에너지 낭비를 막고 측정 부위의 가스 흐름이나 외부 조건에 의존하여 감지막에 전달되는 온도를 일정하게 조절하여 센싱 특성을 안정화시킨 반도체식 가스 센서를 제공하기 위하여, 박막증착용 알루미나 기판 앞면에 소정의 패턴으로 형성되는 백금 박막 전극과; 상기 전극이 형성된 기판의 앞면에 증착되는 NO
x 가스 감지용 산화텅스텐 박막과; 상기 알루미나 기판 뒷면에 형성되어 상기 감지막 부위의 온도를 일정하게 유지하기 위한 히터와; 상기 알루미나 기판의 뒷면에 형성되는, 상기 히터를 완전히 매몰시켜 상기 히터를 외부에 대하여 방열하기 위한, 알루미나, 뮬라이트, 코디에라이트, 마그네시아 및 지르코니아로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나의 재료로 만들어지는 쉬트;를 포함하는 센싱 특성이 안정화된 반도체식 판상 가스 센서 및 알루미나봉과; 상기 알루미나봉위에 형성되는 히터와; 상기 알루미나봉위에 감겨지는, 상기 히터를 완전히 매몰시켜 상기 히터를 외부에 대하여 방열하기 위한, 알루미나, 뮬라이트, 코디에라이트, 마그네시아 및 지르코니아로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나의 재료로 만들어지는 쉬트와; 상기 쉬트위에 소정의 패턴으로 형성되는 백금 박막 전극과; 상기 전극위에 증착되는 NO
x 가스 감지용 산화텅스텐 박막;을 포함하는 센싱 특성이 안정화된 반도체식 봉상 가스 센서를 제공한다.
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